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1 分辨率：

1.1 宽度测量显示分辨率≤ 1nm 。

1.2 高度测量显示分辨率≤ 0.8 nm 。

2 光源要求：

2.1 激光部分：采用 405nm 短波长半导体激光器，安全等级 CLASS 2 （输出功率≤ 1mW ）。

2.2 可见光部分：长寿命 LED 光源。

2.3 光扫描型观察装置：通过对激光的扫描而得到的信号进行取样，将其转换为电信号。

*3 采用激光双光路共焦系统。

4 放大倍数： 110 倍—— 17000 倍。

5 载物台要求：

5.1 控制方式：电动载物台。

5.2 载物台行程范围： X 向不小于 100mm ， Y 向不小于 100mm 。

（大工作台可定制）

6 物镜要求：

6.1 提供不少于 5X 、 10X 、 20X 、 50X 、 100X 、 20X （超长焦）物镜共计 6 颗。

6.2 其中 20X 、 50X 、 100X 均为 405 纳米激光 LEXT 专用平场复消色差（ APO ）物镜。数值孔径（ N.A. ）分别不小于 0.60 、 0.90 、 0.95 。

*6.3 其中 20 倍超长焦物镜工作距离不小于 25mm 。

7 物镜转换器： 5 孔电动编码型物镜转换器。

8 可观察试样高度： 0 — 95mm 。

9 软件要求：

9.1 功能包括：长度、高度、角度、面积、体积测量。其中高度测量根据相机上成像的多个位置的分段图像的像素的亮度信息，求出 IZ 峰值位置，获得上述试样的高度信息，上述 IZ 峰值位置是根据表示亮度 I 和 Z 轴方向的焦点位置之间的关系的 I-Z 特性求出的亮度位置。

9.2 粗糙度测量功能：软件操作界面具有单独粗糙度测量模块，取样长度 d 不低于 50mm ，测量精度符合国际标准 ISO4287 。

9.3 自动三维拼图功能。软件具备操作向导功能及宏观地图功能。

10 计算机要求： XeonCPU/8G 内存 /500GB 硬盘 /DVD-RW 光驱 /24 寸专业液晶显示器。

*11 具备升级为原子力功能。