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超高分辨率冷场发射
为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍
•沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪
•采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的优质性能
•(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
•采用污染小、高真空样品仓
•运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度
项目 | 内容 |
---|---|
二次电子分辨率 | Regulus 8100:0.7 nm(加速电压15 kV);0.8 nm(着陆电压1 kV) Regulus 8220/8230/8240:0.6 nm(加速电压 15 kV);0.7 nm(着陆电压 1 kV) |
着陆电压 | Regulus 8100:0.1~2 kV Regulus 8220/8230/8240:0.01~20 kV |
放大倍率 | Regulus 8100:20~1,000,000倍 Regulus 8220/8230/8240:20~2,000,000倍 |
样品台控制 | Regulus 8100:3轴马达台(可选5轴马达台) Regulus 8220/8230/8240:5轴马达驱动 |
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