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•全自动多点扫描： 多种预设方案供选择，也可以自定义测试方案
•手动任意点测量： 只需提供坐标，一键测量
•精密探针头： 镶嵌红宝石轴套的探针头，保证测量的机械精度、稳定性和寿命
•超宽测量范围： 1 μΩ~100 MΩ
•样品尺寸： 230 mm*230 mm*10 mm
•测量速度： ~2 秒/点
•测量精度： ±1%
•重复性(1σ)： ±0.2% （动态测试）
•±0.02%（静态测试）
•数据可视化： 彩色编码图
•数据自动存储： 存储为EXCEL 格式，便于后期数据分析
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 超宽测量范围 | 1 μΩ~100 MΩ |
| 样品尺寸 | 230 mm*230 mm*10 mm |
| 测量速度 | ~2 秒/点 |
| 测量精度 | ±1% |
| 重复性(1σ) | ±0.2% （动态测试） ±0.02%（静态测试） |
| 定位精度 | 定位精度：40 μm 重复定位精度： 5 μm 位移分辨率： 1 μm |
| 探针间距 | 1.00 mm |
| 探针材料 | 碳化钨 |
| 探针压力（可选） | 3~5 N（薄膜） |
| 机械游移 | <0.3% |
| 宝石轴承内孔与探针间距 | <6 μm |
| 外观尺寸（长*宽*高） | 530 mm * 630 mm * 350 mm |
•半导体及太阳能电池（单晶硅、多晶硅、钙钛矿）
•液晶面板（ITO/AZO）
•功能材料（热电材料、碳纳米管、石墨烯、银纳米线、导电纤维布）
•半导体工艺（金属层/离子注入/扩散层）
•非晶合金
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