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X荧光光谱仪根据有手持和台式两种，所采用的都是X荧光光谱仪的原理。X荧光光谱仪由激发源和探测系统构成，根据各元素的特征X射线的强度，也可以获得各元素的含量信息。

X荧光光谱仪根据其分光原理不同分成波长色散型X荧光光谱仪（波谱仪，WDXRF）和能量色散型X荧光光谱仪（能谱仪，EDXRF），我们通常所说的X荧光光谱仪就是指波长色散的仪器，X荧光光谱仪可对固体、粉末、液体、悬浮物、过滤物、大气飘尘、薄膜样品等进行定性、定量剖析，元素局限13Al-92U，含量局限ppb至，检出限到2pg。

X荧光光谱仪是一种的、非破坏式的物质测量方法，X射线荧光是用高能量X射线或伽玛射线轰击材料时激发出的次级X射线，这种现象被广泛用于元素分析和化学分析，特别是在金属，玻璃，陶瓷和建材的调查和研究，地球化学，法，考古学和艺术品，例如油画和壁画。

X荧光光谱仪是一种较新型的可以对多元素进行同时测定的仪器，在X射线激发下，被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级X射线（即X荧光），波长和能量是从不同的角度来观察描述X射线所采用的两个物理量。

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