EDI超纯水氮封装置 产品说明

 本实用新型属于超纯水氮封装技术领域，具体涉及一种用于电子超纯水的氮封系统。在范围内，新材料不断研发和进步，对水的需求越来越高，同时，水资源日趋匮乏也是企业所面临的现状，因此，水技术市场的发展前景是*的。纯水和超纯水的生产便是其中非常重要的组成部分。在电子半导体行业的生产工序中需要用到大量的超纯水进行冲洗，edi系统制取出的超纯水需要进行封存，不能与空气接触，否则空气中的co2、o2和杂质会因接触水体而影响水质。

特点：

1、无需外加能源，能在无电、无气的场合工作，既方便，又节约能源，降低成本.

2、氮封装置供氮、泄氮压力设定方便，可在连续生产的条件下进行.

3、压力检测膜片有效面积大，设定弹簧刚度小，动作灵敏，装置工作平稳.

4、采用无填料设计，阀杆所受摩擦力小，反应迅速，控制精度高.

5、供氮装置采用指挥器操作，减压比可达100:1，减压效果好，控制精度高.

一种纯水系统的氮气节能装置，包括纯水箱，氮气进气管及补水管，所述纯水箱还通过水箱溢流管与水封桶的水箱连接管相连，还设置有进水阀和液位计，其通过液位传感器与纯水箱外部的液位控制器相连接，达到节约氮气消耗量的目的；公告号一种氮封水箱，通过在纯水水箱中设置的氮封阀等氮封系统，使水箱内氮气的气相空间压力维持在2.5kpa左右，当气相空间压力高于2.5kpa时，氮封阀关闭，停止氮气供应；当气相空间压力低于2.5kpa时，氮封阀开启，开始补充氮气，保证水箱在正常运行过程中不吸进空气，防止空气中的尘埃、co2等污染物进入di水(去离子水)中形成二次污染；一种纯水系统的氮气节能装置，采用空气减压阀、电磁阀的设置，通过微调压力表，用来检测氮封水箱中的氮气压力，根据氮封水箱氮气压力控制，调节氮气输出。

空气中含有二氧化碳、细菌、尘埃等杂质，而超纯水为纯的溶剂，对这些杂质的溶解能力很强，故一旦超纯水与空气接触，就会使其电阻率迅速下降，实践证明15MΩ.cm以上的超纯水暴露在空气中1分钟后水质就会下降至3-4MΩ.cm，3分钟以后就会下降到2MΩ.cm左右，因此超纯水的储存容器应避免水体与空气的接触。

常见处理超纯水与空气接触的方法：

充氮法：

即在水箱水面上充入氮气使箱内维持适当的正压力，阻止大气与箱内水面接触。

薄膜袋法：

即在在水箱内设置袋状薄膜覆盖于水面上，薄膜袋随水位升降，减少水面与空气接触面积。

浮顶法：

即以密度比水轻的轻质材料在水箱内制成整块板状浮顶浮于水面，并用轻质弹性材料（如海绵、发泡塑料等）遮盖浮顶与箱间的间隙，浮顶随水面升降。从而减少空气与水面的接触机会。

在上述三种方法中又以氮封水箱见。

氮封水箱的工作原理：

超纯水氮封水箱是将一定量的氮气充入密封的水箱内，水箱内氮气压力不大于80Kpa，氮气是惰性气体能防止CO2 等其它物质溶入水中影响水质，保证水箱内的水不受二次污染而导致水质下降。

氮封装置由快速泄放阀及微压调节阀两大部分组成，而快速泄放阀由压力控制器及单座切断阀组成，当储罐内压力升高至设定压力时，快速泄放阀迅速开启，将罐内多余压力泄放。微压调节阀是在储罐内压力降低时，开启阀门，向罐内充注氮气。因微压调节阀必须使用压力为0.1Mpa压力以下，现场N2压力较高，必须安装压力调节阀将压力降低至0.1Mpa以下才可使用。压力可按要求分段设定，从0.5Kpa至60Kpa以下。

☆微压调节阀压力调节范围内选定一设定值如：3Kpa；

☆泄氮设定值的设定应远离供氮压力值，如：8Kpa；

☆具体压力的设定值要根据纯水系统的产水量和水箱容量大小来确定选择。

☆N2 的纯度为99.995％以上。

EDI超纯水氮封装置 技术参数和性能

阀体

执行器

性能

五、 额定流量系数、额定行程、性能

供氮装置

泄氮装置

1 供氮装置主要技术参数及性能指标

2泄氨装置主要技术参数及性能指标

 外形尺寸及重量

1供氮装置外形尺寸及重量

2泄氮装置外形尺寸及重量

所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度输出值与所述液位传感器输出液位数据通过控制器相联锁，所述控制器可以为单片机，其一个控制端与所述比例调节阀相连，另一个控制端与所述液位传感器相连，当所述液位传感器输出液位数据升高时，所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度增大（流向副容器的流量减小），当所述液位传感器输出液位数据降低时，所述比例调节阀流通向所述氮封水箱的阀门开度减小（流向副容器的流量增大）。

实际运行过程中氮封水箱可能会不起作用，这需要我们分析故障原因，一般而言泄放阀与微压调节阀不动作是主要的原因。针对上述问题，本实用新型提供一种用于电子超纯水的氮封系统，用于edi系统制取的超纯水的封存，通过设置比例调节阀的开度与外供泵的流量联锁控制，可根据外供泵的流量大小，控制比例调节阀的开度，调节进入氮封水箱的通道，最终达到一个氮封水箱液位恒定的目的，达到节省高纯氮气的目的。

氮封装置安装事项

（1）安装前，检查整机零件是否缺损与松动，对管道应进行清洗，介质流向应与阀体上的箭头指向*。

（2）为便于现场维护与操作，阀四周应留有适当空间与设置旁路手动阀，阀组安装方案。

（3）阀门应正立垂直安装在水平管道上，阀体与管道的法尘连接，要注意同轴度，并应安装在环境温度不超过-25～55℃的场合使用。

 订货须知：

一、①产品名称与型号②口径③是否带附件以便我们的为您正确选型④使用压力⑤使用介质的温度。
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三、当使用的场合非常重要或环境比较复杂时,请您尽量提供设计图纸和详细参数，由我们申弘阀门的技术为您审核把关。产品所属调节阀系列，感谢您访问我们申弘阀门的如有任何疑问.您可以致电给我们,我们一定会尽心尽力为您提供优质的服务。如需要了解更多其它阀类产品的信息可以点击减压阀查看。