万喜堂彩票app下载中心 万喜堂彩票官网平台 伯努利机械手指(接触式)针对存在翘曲的晶圆,以及减薄晶圆设计的具有高性价比特点的伯努利原理机械手指可以配套JEL所有类型的大气搬运机械手臂使用可用于6、8、12寸晶圆的非接触式End-Effector,非常适合减薄晶圆,广泛应用于半导体后道工序设备 通过使用晶圆样品进行实际的验证传输测试,可以按照客户的需要,针对不同尺寸,翘曲量,晶圆厚度的任意形状的晶圆进行机械手指的定制设计 万喜堂彩票官网平台 伯努利机械手指(接触式) 利用伯努利原理的气流压力差吸附晶圆 利用橡胶垫和晶圆之间的摩擦力,防止晶圆在传输过程中可能发生的位置偏移 晶圆表面和机械手指的橡胶垫发生接触,能够同时对应不同规格的晶圆(※特殊情况的组合下,存在无法实现不同尺寸晶圆兼顾的情况),相对于非接触式机械手指,接触式机械手指的厚度可以做到更薄 相对于真空吸附方式的手指,伯努利原理机械手指的吸附力会分散到整个晶圆表面,更适合用于减薄晶圆的传输