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万喜堂app下载老虎机：PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机，等离子腔体为 Ø 8.5"×12"的石英腔体，采用的射频电源功率0- 100W连续可调节，采用的射频为13.56MHz。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备 。 在单晶材料外延薄膜生长以前 对其 进行预处理， 将 对生长具有显著的作用 。 万喜堂app下载网页版 PCE-8等离子清洗机配有一个直连式双旋真空泵，可对腔体进行抽真空，同时通入氩气等保护气体，适用于对易氧化的物品的清洗。
| 产品型号 | PCE-8 等离子清洗机 |
| 主要特点 | 1 、 采 用 6 " 彩色触摸屏，可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等 。 2 、 内 部配有 0-500mm/min 的质量流量计，可以精确地控制进气流量 。 |
| 技术参数 | 1 、 电源： AC220V 2 、射频功率： 100W ，可在 0-100W 间调节 3 、真空泵功率： <500W 4 、总功率： <600W 5 、射频： 13.56MHz 6 、等离子腔体：高纯石英腔体，外径 Ø 8.5" ，内径 Ø 8.2" ，长 12" ，采用铝 制折叠式法兰进行真空密封，法 兰设有一个 Ø 60mm 的观察窗口 7 、极限真空度： 50mtorr 8 、通入气体：可通入多种气体，如 N 2 、 Ar 、 Air 、 H 2 、 O 2 和混合气体等等（根据材料 性质所定） |
| 清洗及蚀刻 |  |
| 产品规格 | 尺寸： 620mm × 450mm × 600mm |
| 可选配件 | 1 、 300W 、 600W 射频电源（进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验） 2 、 2 " -6" 石英舟（盛放基片） 3 、 2-4 通道浮子混气系统 4 、 2-4 通道质子混气系统 5、直连式双旋真空泵（ 240L/min ） 6、 KF25 波纹管 7 、 KF25 手动挡板阀 |
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