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全自动氦质谱检漏仪
型号: JL -142W(D)
JL -142W(D) 型是一款液晶触摸
彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。主
要配置采用检漏仪定制产品。设备内
芯的制造借鉴*技术,整机设
置合理、性能稳定。具有灵敏度高,
反应快,开机时间短等特点。检漏效
果达到*水平。
主要技术指标
1 、 真空模式小可检漏率: 5 × 10 -13 Pa • m 3 /s ( 5 × 10 -12 mbal/s )
真空模式漏率显示范围: 1 × 10 -1 — 1 × 10 -13 Pa • m 3 /s
2 、 吸枪模式小可检漏率: 5 × 10 -9 Pa • m 3 /s ( 5 × 10 -8 mbal/s )
吸枪模式漏率显示范围: 1 × 10 -1 — 1 × 10 -10 Pa • m 3 /s
3 、启动时间:≤ 3min
4 、响应时间:≤ 0.5s
5 、检漏口的 压力: 1500Pa
6 、电源要求: 220v , 50Hz ,单相, 10A
7 、工作环境: 5-35 ℃
9 、相对湿度:≤ 80%
9 、外形尺寸: 500 ( W )× 400 ( D )× 380 ( H )
10 、重量: W 型 42kg , D 型 22kg
主要配置
1 、德国普发检漏仪分子泵(*)
2 、 W 为油式机械泵, D 为干式机械泵
3 、定制检漏仪电磁阀
4 、阀体
5 、原装晶圆放大器
6 、采用质谱模块
7 、液晶触摸彩屏
8 、双灯丝(氧化钇金丝),自动调氦峰,自动切换