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美国 HVA 标准周期真空闸阀 11000 系列
上海伯东美国 HVA 标准周期真空闸阀 11000 系列满足高真空和超高真空应用, 清洁和高密封性保证 HVA真空闸阀 与低温泵, 涡轮分子泵, 离子泵等*联用.
HVA 标准周期 真空闸阀 11000 系列产品特点:
高真空和超高真空, 阀门主体和内部组件采用不绣钢材质
阀门口径 DN 16 - 800 mm , 手动或气动驱动
不绣钢焊接波纹管, 标准法兰口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客户定制
温度 250°C
坚固耐用, 达到设定的真空度时, 气动阀门自动开闭, 有purge 接口
全部美国设计, 制造, 组装, *
HVA 标准周期 真空闸阀 11000 系列技术参数:
阀门材质: | |
- 阀门主体 | 304 不锈钢 |
- 焊接波纹管轴封 | AM - 350 |
阀门密封方式 | |
- 高真空 | 氟橡胶 |
- 超高真空 | 铜垫圈 / 氟橡胶 |
真空: | |
- 压力范围 | 高真空 1x10-9mbar, 超高真空 1x10-10mbar |
- 漏率 | <2x10-9 mbar l/S |
- 差压关闭 | 1 bar (任意位置) |
- 开启前大压力 | ≤ 30 mbar |
烘烤温度(不含电磁阀): | |
- 佛橡胶密封 | 150 °c, 可选配置大 250 °c |
- 铜垫圈密封 | 阀门关闭 200 °c, 阀门打开 150 °c |
- 驱动方式 | 手动 60 °c, 气动 60 °c |
- 气体 | 80 psig (5.5 bar) |
- 电磁 | 4.0 Watts |
- 供电 | 120 VAC 50 /60 Hz |
- 可选电压 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
- 位置指示器,大 | 115 VAC |
使用寿命:100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定) | |
公称通径:DN 16 - 800 mm |
美国 HVA 11000 系列真空闸阀有正面锁定的中心装置或一个软封的气动闸(可选择的), 阀门保持关闭状态以防空气压力损失, 11000 系列真空闸阀*的气缸设计保证低的冲击和振动, 因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业. HVA不锈钢真空闸阀提供了业界小的内部接口. 阀体和所有内部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr 的真空炉中一体钎焊完成, 确保了阀门的大完整性,效消除了虚漏和缺陷部分, 阀体变形.阀门手动, 三种驱动方式可选, 或定制法兰满足不同应用.美国HVA 标准周期真空闸阀 11000 系列可任意位置安装.
HVA 标准周期真空闸阀应用案例
上海伯东客户某大学自主搭建分子束外延与扫描隧道显微镜系统, 采用美国 HVA 真空闸阀 11000 系列并搭配 Pfeiffer 分子泵 Hipace 300 和涡轮分子泵 Hipace 80 成功分析生长晶体表面结构.
HVA 标准周期 真空闸阀 11000 系列组成:
美国 HVA 真空阀门-美国大真空阀门制造商。美国 HVA *真空阀门,超过50年的高真空和超高真空阀门设计与制造。主营高真空闸阀,高真空角阀广泛应用于半导体、镀膜、激光、科研、工业等领域。上海伯东是美国 HVA 真空阀门在中国地区总代理商。
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