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HVA 真空闸阀 71000 系列
上海伯东美国 HVA真空闸阀 71000 系列是专为苛刻的真空环境而设计.真空闸阀 71000 系列由坚固的不绣钢刚坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 条件下加工成形,真空闸阀两侧密封的门上双密封设计, 阀门内部几乎没有移动部件, 大限度减少粒子的生成. 免维护设计(不绣钢波纹管与工艺过程分离). 适用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的严酷的应用.
HVA 真空闸阀 71000 系列特性:
易于系统集成, 几乎满足所有应用
不绣钢波纹管与工艺过程分离 - 免维护
真空闸阀坚固的双重密封设计和低粒子
使用寿命 > 250,000 cycles 启闭次数
高压和机械加工的不锈钢阀体
真空闸阀口径 DN 50-200 mm
手动或气动控制
标准法兰口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客户定制
真空闸阀大烘烤温度 250°C
全部美国设计, 制造, 组装, *
HVA 真空闸阀 71000 系列参数:
| 阀门材质: | |
| - 阀门主体 | 304 不锈钢 |
| - 焊接波纹管轴封 | AM - 350 |
| 阀门密封方式 | |
| - 高真空 | 氟橡胶 |
| 真空: | |
| - 压力范围 | 高真空 1x10-9mbar |
| - 漏率 | <2x10-9 mbar l/S |
| - 差压关闭 | 2 bar (任意位置) |
| - 开启前大压力 | ≤ 1 bar |
| 烘烤温度（不含电磁阀）: | |
| - 佛橡胶密封 | 150 °c, 可选配置大 250 °c |
| - 驱动方式 | 手动 60 °c, 气动 60 °c |
| - 气体 | 80 psig (5.5 bar) |
| - 电磁 | 4.0 Watts |
| - 供电 | 120 VAC 50 /60 Hz |
| - 可选电压 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
| - 位置指示器,大 | 115 VAC |
| 使用寿命:> 250,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定) | |
| 公称通径:DN 50 - 200 mm | |
HVA 真空闸阀 71000 系列部件图:
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