中科院微电子KW-4T触屏型台式匀胶机/旋涂仪
        > 基片尺寸φ5-φ100mm圆片、100x100mm2方片
        > 转速：250-9000转/分
        > 特点: 任意阶段之间均可任意升降调节
        > 转速稳定度：<±1%，胶的均匀性<±1%
        > 匀胶阶段：6段
        > 匀胶时间：每个阶段0-1800S可调
        > 电机功率：40W
        > 整机尺寸（长宽高）：210mm×280mm×248mm
        > 适用材料：硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料