微电子研究所生产的KW-4A型匀胶机

适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点，并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A、KW-4T和KW-5型。

产品主要特点

1、开关电流调速，稳定性能更好，转速调节以数字显示为准。

2、转速在500～8000转／分范围内非常稳定。

3、采用双转速。在启动之后，先以低速运转，使胶摊开，然后自动转换到高速运转。两种转速及相应的时间分别可调，时间分别控制在1～18秒和3秒～1分钟。

4、具有定时功能。

5、测速采用光电的办法，产生光电脉冲，由晶体分频测速准确性高。

6、"吸片"采用电磁阀控制气路，一个气泵可同时带几台匀胶机工作，适合流水线的工艺，提高了效率。

7、在安装结构上，采取了减振措施，保证了在运转时噪音低。

> 参数：手动旋钮控制
        > 基片尺寸φ5-100mm圆片、100x100mm2方片
        > 转速：500-8000转/分
        > 显示转速稳定度：±1%，胶的均匀性±1%
        > 匀胶阶段：2段
        > 匀胶时间：Ⅰ速0~18S,（0~60S）；Ⅱ速0~60S,（0~180S）
        > 电机功率：40W
        > 整机尺寸（长宽高）：210mm×260mm×275mm
        > 适用材料：硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料