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simco日本思美高进口5225 型AeroBar棒式离子发生器
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访问次数:94更新时间:2023-09-19 12:27:10

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产品简介: ■单晶硅电极在范围内拥有的采用记录,由于其超低颗粒特性和电极材料,避免了金属污染的风险。通过安装 5200-SR 外部电极静电消除目标附近的传感器(选件),可以对静电消除目标附近的离子平衡进行反馈控制,而不是离子发生器本身(连接5200-SR)如果没有,离子发生器内置的传感器会自动调整离子平衡.)■根据半导体前端工艺的EFEM设定棒......
产品介绍

simco日本思美高进口5225 型AeroBar棒式离子发生器

日本思美高万喜堂app下载5225S AeroBar 型用于超洁净独立安装

单晶硅电极在范围内拥有的
采用 记录,由于其超低颗粒特性和电极 材料,避免了金属污染的风险

通过 安装 5200-SR 外部电极静电消除目标附近的传感器(选件),可以对静电消除目标附近的离子平衡进行反馈控制,而不是离子发生器本身(连接5200-SR)如果没有,离子发生器内置的传感器会自动调整离子平衡.)
根据半导体前端工艺的EFEM设定棒的长度
离子发生输出、离子发生时间、警报阈值等 参数范围广 通过使用 进行设定,可以灵活应对适用于远距离应用和弱气流环境
只需通过数字输入参数即可获得高再现性,并且可在短时间内完成设置
除了简单的报警 IO 外,还可以使用提供的 DLL 进行实时监控免费,有助于掌握工艺设备内部状态。

输入电压 24V AC,50/60Hz,1W(典型值)由 IM6T 提供。
沟通形式 RS485(IM6T 和 5225 之间)
输出电压 0kv 至约+/-20kv
输出形式 脉冲直流模式、稳态直流模式(可选)
输出电流 内置<15microA电流和电压限制电路
连接接头 RJ11,4极4芯
离子发生时间 小0.1秒,10秒 可分别设置正负
电极 单晶硅电极可更换
臭氧产生量 <0.005ppm(24小时积分测量)
相应洁净度 ISO 1 级,0.1 微米
尺寸 高 53 毫米 x 深 31 毫米 x 长 569 毫米 (-22)、721 毫米(-28)、

907毫米(-36)、1128毫米(-44)、1412毫米(-56)、1636毫米(-64)、

1918 毫米 (-76) 和 2144 毫米 (-84)
重量 -22:每增加长度1.02kg 0.17kg/30cm
外部的 ABS树脂

接口模块型号 5200-IM6T

输入电压 24V 直流+/-5%,1.5A
沟通形式 以太网、RS232C
报警输出 继电器触点( V4.0 及更高版本)
尺寸 高 74 毫米 x 深 71 毫米 x 长 315 毫米
重量 2公斤




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