OP2-Fc

安装距离： 11mm

量程：± 190

线性度：± 0.02%F.S.

分辨率： 10nm

光斑： 10um

OP3-Fc

安装距离： 12.7mm

量程：± 550

线性度：± 0.02%F.S.

分辨率： 20nm

光斑： 12um

OP4-Fe

安装距离： 19mm

量程：± 1700

线性度：± 0.02%F.S.

分辨率： 40nm

光斑： 20um

OP5-Fe

安装距离：30 mm

量程：± 5000

线性度：± 0.02%F.S.

分辨率： 300nm

光斑： 25um

型号 With CDS-500

OP1

OP2

OP3

OP4

OP5

安装距离

mm

8

11

12.7

19

30

量程

μm

±55

±190

±550

±1700

±5000

倾角

deg

±45°

±28°

±25°

±21°

±14°

放大器型号

Fc

Fc

Fc

Fe

Fe

光斑尺寸

μm

2

10

12

20

25

位移测量

分辨率(平均128次)

nm

2

5

10

20

150

精度

±0.02%F.S.

±0.02%F.S.

±0.02%F.S.

±0.02%F.S.

±0.02%F.S.

厚度测量

最小厚度测量

μm

5

12

22

66

192

厚度测量

μm

100

460

1540

4390

14850

长度

mm

208

176

176

130.5

145.5

直径

mm

27/40

27

27

27

27

型号

CDS-500

采样频率

200 to 4500 points/sec 用户可定义

光源

蓝色激光

测量模式

位移 / 厚度

通讯控制

以太网

同步 I/O

1 Trigger input(TTL)5V

光纤连接器

FC/APC

兼容性

兼容所有型号测头

电源 / 功耗

24V DC 3A

工作温度

5 ℃ -40 ℃

放置温度

-30 ℃ -70 ℃

相对湿度

5%-80% 无冷凝

防护等级

IP 40