特点及技术参数
一、特点
1.本机采用触控荧屏与PLC自动控制，中文菜单显示
2.*的上下灯功率5KW、8KW自由转换,适合各种曝光要求
3.超高速的双台面进出系统,充分提高曝光效率
4.7P的台面冷却系统,确保台面温度精确控制
5.曝光量可经由人机介面自由设定，系统可记忆99组曝光条件。
6.人性化的保养/故障提示功能,更方便本机保养维修

高强度*的曝光灯源装置
节能，能量自动转换；曝光作业温度稳定；快速抽真空系统；全电脑的高科技系统设计，高速度、高精度、高质量；人机交互界面，操作简便，工作性能可靠

二、技术参数
曝光光源： 2支7KW卤化金属灯管
照度均匀性：80%以
曝光方式： 机械式旋转快门开关法,5KW/8KW功率自由转换
光强度： 60-80mw/cm
灯管寿命： 8000次
真空装置： 干式免维护真空泵
曝光能量控制： 能量积分运算自动控制
曝光区域： 880mm*720mm
曝光框架： 上层材质：Mylar
下层材质：光学强化玻璃
灯管冷却方式： 水冷式间接冷却
电源： 3相380V 50Hz 30kw
冷却水： 外接冷却水塔 15T/H
环境温度： 20-25摄氏度
环境湿度： 50-60%
外形尺寸： 2700X1350X1800(mm)
设备重量： 1250公斤