万喜堂彩票官网平台 CZ晶体生长炉

工 作电源

AC  380 V ，三相， 20 KW

感应射频

30 - 8 0 KHz

熔炼温 度

165 0℃

真空系统（选配）

配置一： 10- 2 torr (机械泵)

1. 型号：VRD- 24

2. 抽气口接口尺寸：KF 25

3. 抽气速率：( 24 m3/h) 6.6 L/S

4. 电机功率： 750 W

5. 极限压强 4×10-2Pa

配置二： 10-5torr  ( 机械泵+ 分子泵)

1. 抽气速率： 62 0L/s

2. 极限压强：6×10- 5 Pa

3. 启动时间：≤ 8 min

4. 额定转速： 27 000rpm/min

5. 冷却方式：水冷

6. 抽气口接口尺寸： L F160

真 空腔室

1. 采用 SS 3 04 不锈钢腔体双层水冷腔体，确保设备工作室表面温度 ≤ 70℃，

2. 腔 体尺寸：  φ 4 00* 4 00mm 卧式结构

3. 腔门上有一个 5 0* 15 0 mm  的方形观察窗口，方便 晶体生长过程中实 时观察样品的熔化和生长情况 ；

4. 腔体上部安装了一个量程为-0.1-0. 15 MPa  的机械压力表用于 观 察 腔 室内压力情况

5. 一个 φ6 双卡套接头做为出气口，并通过一 个不锈钢针阀控制 出 气的通断

6. 一 个 电磁阀可自动控制进气

7. 安装了一个安全 泄 压阀，当腔室中压力大于一定值时将自动泄压， 确 保腔体的安全

提拉机构

1.提拉采用伺服 电机驱动 ， 旋转采用直流电机驱动

2. 提拉速度：0.01-30 mm / h

3. 籽 晶杆旋转速度：0.1-60 rpm

4. 提拉行程： 2 00 mm

5.位移精度：0.01mm

6.提拉分为快速和慢速

坩埚旋转机构

1. 直流电机驱动

2. 旋转速度： 1 - 3 0 rpm

控制系统

1.整个电路控制系统在触摸屏上面实现操作控制,采用控制软件进行控制，可以实现以下功能：

2.生长斜率及控制参数设定；

3.控制晶升，动态可调

4.控制晶转，可设定多段速自动执行

5.腔体真空压力检测

6.报警监测，晶升晶转中频气压等上限报警

7.实时数据曲线

8.数据记录， 自动存储运行数据

水冷系统（选配）

1.工作电流：2.1-12.9A

2.制冷量：49474Btu/h

3.流量：117L/min

4.水箱容量：75L

坩埚系统（选配）

1.可选石墨坩埚或者氮化硼坩埚和相应的保温材料组件

此单晶炉的坩埚尺寸分为D50*H50mm和D80*H80mm

变压器（选配）

可根据客户所在地的电压选配变压器，如480V变380V，415V变380V等

产品尺寸（参考）

1.设备主机：~1480mm(L)  x 1150mm(W) x 2450mm(H)

2.冷水机：~800mm(L)  x 800mm(W) x 1200mm(H)

3.变压器：~1050(L)  x 800mm(W) x 1200mm(H)