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万喜堂彩票注册开户 3d光学表面轮廓仪

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产品型号SuperVieW1

品       牌

厂商性质生产商

所  在  地 深圳市

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更新时间:2022-09-07 09:51:04 浏览次数:342次

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产品简介
标准视场 0.98×0.98㎜ Z向扫描范围 10?㎜
粗糙度RMS重复性 0.005nm 台阶测量准确度 0.3%
台阶测量重复性 0.08%?1σ

中图仪器万喜堂彩票注册开户 3d光学表面轮廓仪SuperViewW1所具有技术竞争力在于接触式和光学三维轮廓仪的结合。主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓,自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,此外具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。

详细介绍

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SuperViewW1光学3D表面轮廓仪,光学轮廓仪

万喜堂彩票注册开户 3d光学表面轮廓仪 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高。其隔振系统能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得高测量重复性。


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1)提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。


SuperViewW1光学3D表面轮廓仪,光学轮廓仪.png


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1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;
2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;
3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;
5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;
6、微电子表面分析和MEMS表征。


SuperViewW1光学轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。




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