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所 在 地 沈阳市
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更新时间:2023-02-25 10:03:06 浏览次数:192次
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商铺产品:912条
所在地区:辽宁沈阳市
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万喜堂app下载网页版 OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉
产品简介: OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜( CSS )炉是一款快速蒸发管式炉,专门用于 PVD 或 CSS 法制作薄膜;其炉管外径为 11″ ,炉管内载样盘可放置 3″ 的圆形或 2″ × 2″ 的方形基片;OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜( CSS )炉加热元件为两组红外灯管,分别安装在腔体顶端和底部,升温速率高达 20 ℃ / s ,可迅速使炉腔内温度升高 ; 冷却速率:>10℃ /s ,可在镀膜后使样品快速降温; 温控系统采用PID30段程序化控制,控温精度为± 1 ℃ ,并且仪器面板上带有 RS485 接口,若仪表内配有控温软件,就可将升温程序和曲线导出 。
OTF-1200X-RTP-II 近距离蒸发镀膜( CSS )炉
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:设备需选配自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)
2、电:AC220V 50Hz( 20 A空气开关),必须有良好 接 地
3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带 Ø 6mm双卡套接头)
4、工作台: 设备为落地式, 占地面积1m2以上
5、通风装置:需要
主要特点
1 、 为了减小热辐射和达到 快速冷却的效果,加热元件被嵌在水冷机构上 。
2 、 紧 贴顶部加 热元件上装有一氮化铝基片( Ø 76mm × 0.5mm ),使得样品基片上的温度更加均匀 。
3 、 3″ 的 石墨坩 埚可放于底部加热元件上,用于盛放蒸发料 。
4 、 真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封,通过机械泵其腔内真空度可达10-2torr,通过分子泵真空度可达10-5 torr 。
5 、 两个真空 法兰都可以通过手动操作进行上下移动。
6 、 一个数字 式真空显示计安装在法兰顶部,可以精确测量腔内真空度。
技术参数
1 、 电源:单相 AC208V-240V (需 20A 的空气开关)
2 、真空腔体:高纯石英管,外径 280mm ,内径 275mm ,高 229mm
3 、加热元件:两组 IR 红外灯管,额定功率 800W ,总功率 1600W
4 、热电偶: S 型热电偶 2 个,分别安装于上下法兰上
5 、工作温度:两个加热区域单独工作的温度≤ 650 ℃,两加热区域温差≤ 350 ℃
6 、加热速率: >8 ℃ /s
7 、冷却速率: >10 ℃ /s ( 600 ℃ -100 ℃)
8 、真空法兰: 316 不锈钢制作,配有 1 个 KF-25 接口、 2 个 1/4 ″ 软管接头
9 、真空计:数字式真空显示计
可选配件
1 、 PC 控温软件
2 、两路混气系统
3 、 多路浮子混气系统
4 、 多路质子混气系统
5 、 真空泵
6 、 水冷机
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