万喜堂app下载网页版 OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜（CSS）炉

产品型号

OTF-1200X-RTP-II 近距离蒸发镀膜（ CSS ）炉

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备需选配自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC220V 50Hz（ 20 A空气开关），必须有良好 接 地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带 Ø 6mm双卡套接头）

4、工作台： 设备为落地式， 占地面积1m²以上

5、通风装置：需要

主要特点

1 、 为了减小热辐射和达到 快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上 。

2 、 紧 贴顶部加 热元件上装有一氮化铝基片（ Ø 76mm × 0.5mm ），使得样品基片上的温度更加均匀 。

3 、 3″ 的 石墨坩 埚可放于底部加热元件上，用于盛放蒸发料 。

4 、 真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔内真空度可达10^-2torr，通过分子泵真空度可达10^-5 torr 。

5 、 两个真空 法兰都可以通过手动操作进行上下移动。

6 、 一个数字 式真空显示计安装在法兰顶部，可以精确测量腔内真空度。

技术参数

1 、 电源：单相 AC208V-240V （需 20A 的空气开关）

2 、真空腔体：高纯石英管，外径 280mm ，内径 275mm ，高 229mm

3 、加热元件：两组 IR 红外灯管，额定功率 800W ，总功率 1600W

4 、热电偶： S 型热电偶 2 个，分别安装于上下法兰上

5 、工作温度：两个加热区域单独工作的温度≤ 650 ℃，两加热区域温差≤ 350 ℃

6 、加热速率： >8 ℃ /s

7 、冷却速率： >10 ℃ /s （ 600 ℃ -100 ℃）

8 、真空法兰： 316 不锈钢制作，配有 1 个 KF-25 接口、 2 个 1/4 ″ 软管接头

9 、真空计：数字式真空显示计

可选配件

1 、 PC 控温软件

2 、两路混气系统

3 、 多路浮子混气系统

4 、 多路质子混气系统

5 、 真空泵

6 、 水冷机