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产品型号

钙钛矿镀膜 机

主要特点

1、样品位于真空室上方，蒸发源位于真空室下方，向上蒸发镀膜，且蒸发源带有挡板装置。

2、设有烘烤加热功能，可在镀膜过程中加热样品，烘烤加热温度为180 ℃。

3、设有断水、断电连锁保护报警装置及防误操作保护报警装置。

技术参数

1、 镀膜室：不锈钢材料，采用方形前后开门结构，内带有防污板，腔室尺寸约为 600mm × 450mm × 450mm

2 、 真 空排气系统 ： 采用分子泵 + 机械泵系统

3 、 真 空度 ： 镀膜室极限真空 ≤ 6 × 10 ^-4 Pa

4 、 系 统漏率： ≤ 1 × 10 ^-7 Pa

5 、 蒸 发源：安装在真空室的下底上； 有机蒸发源4 个、容积 5ml ， 2 台蒸发电源，可测温、 控温，加热温度  400 ℃，功率 0.5KW ；无机蒸发源 4 套、容积 5ml ， 2 台蒸发电 源，加热电流 300A ，功率 3.2KW ； 蒸 发源挡板采用自动磁力控制方式控制其开 启

6 、 样 品架：安装在真空室的上盖上，可放置 Ø120 mm 的样品、载玻片，旋转速度 0-30rpm

7 、 加 热温度： RT-180 ℃，测温、控温

8 、 膜 厚控制仪 ： 石英晶振膜厚控制仪，膜厚测量范围 0-999999 Å