万喜堂app下载网页版 微型PECVD系统

产品型号

微型 PECVD 系统

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好 接 地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重 5 0kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1 、加热圈套有石英罩，以减小热量损失。

2 、样品可置于加热线圈内，以达到更好的加热效率和温度均匀性。

3 、采用 PID 方式调节温度，可设置 30 段升降温程序。

4 、设有一滑动法兰安装于移动加上，以便于样品的放入和取出。

5 、已通过 CE 认证。

技术参数

等离子源

1 、等离子体射频电源： 110V/220V  50Hz/60Hz   <100W

2 、输出频率： 13.56MHz

3 、射频功率： 7.2W 、 10.5W 、 18W 三档，可调节

4 、腔体尺寸：外径 Ø 76.2mm ×内径 Ø 68.58mm ×长 406.4mm

5 、 加热 圈：电源 220V ，功率 500W ， 外径 Ø 50mm ×内径 Ø 40mm × 70mm ，并套有内径 Ø 50.8mm × Ø 75mm 的石英罩

6 、 法兰 ： Ø 3″ 不锈钢法兰，设有 KF-25 真空泵接口、 1/4″ 卡套接头、不锈钢针阀

7 、 通入 气体：可通入多种惰性气体，如 N ₂ 、 Ar ，不可通入易燃易爆性气体

8 、 真空 度： 10 ^-2 torr （机械泵）

两通道混气系统

1 、 浮子流量计： 10ml/min-100ml/min ， 2 个

2 、针阀： 304 不锈钢针阀， 3 个

3 、 压力表： -0.1MPa-1.0MPa （ 0.01MPa/grid ）， 3 个

真空泵

1 、抽气速率： 120L/min

2 、接口： KF-25

产品规格

1 、 尺寸 ：等离子源 216mm × 254mm × 203mm ，控制盒 102mm × 254mm × 203mm ，

两通道混气系统 340mm × 300mm × 180mm ，移动架 600mm × 600mm × 1250mm

2 、重量： 32kg