万喜堂app下载网页版 高真空快速CVD系统OTF-1200X-4-RTP-C3HV

产品型号

高真空快速 CVD 系统 OTF-1200X-4-RTP-C3HV

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1 、 双 层 Al ₂ O ₃ 纤维钢构，无需水冷或风冷。

2 、 内炉 膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。

3 、 PID 控 制器 ，可以设置 30 段升降温程序，并设有过热保护和断偶功能。

4 、 已 通过 CE 认证。

技术参数

1 、 电源：单相 208V-240V AC  50Hz/60Hz  10KW

2 、石英管： 外径 Ø 110mm ，内径 Ø 103mm ，长 380mm

3 、加热元件： 8 根红外灯管，灯丝长 200mm ，丝圈 Ø 10mm ，灯长 300mm

4 、加热区： 300mm

5 、 工作温度：温度 1100 ℃

6 、 控温精度：± 0.5 ℃

7 、升温速度： RT-800 ℃时为 50 ℃ /s ， 800 ℃ -1000 ℃时为 10 ℃ /s

8 、温控仪：可控硅（ SCR ） PID 自动控制

9 、 真空 法兰：不锈钢，带有水冷接口和针阀，双层高温 O 型圈密封，长时间在 >900 ℃条件下运行必须 采用水 冷，循环 水流量为 0.5m ³ /hr

10 、真空度： 10 ^-2 torr （机械泵）， 10 ^-5 torr （分子泵）

11 、 质量流 量计： 3 个， MFC1 范围 0-100sccm ， MFC2 范围 0-200sccm ， MFC3 范围 0-500sccm ，精度 1 ± %FS

12 、 混 气罐： Ø 80mm × 120mm

产品规格

尺寸：炉体 760mm × 330mm × 530mm ，真空混气系统 600mm × 600mm × 597mm

重量：炉体 45kg ，真空混气系统 75kg