万喜堂彩票app下载中心 高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

产品型号

高真空三温区 CVD 系统 OTF-1200X-4- Ⅲ -C9HV

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1 、炉体采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面的温度 <60 ℃。

2 、 保温材料采用高纯氧化铝纤维，减少热量损失，且内膛涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率，延长使用 寿命 。

3 、设有三个温区，可独立控温，可设置 50 段升降温程序，并设有过热和断偶保护。

4 、供气系统与真空机组置于移动架内，方便移动。

5 、 真空系统 采用一键操作，按下“ start ” 键后隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先启动，待真 空度达 到  10^-2mbar 后分子泵自动启动）。

6 、根据腔体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率。

7 、已通过 CE 认证。

技术参数

管式炉

1 、电源： AC 208V-240V 单相   50Hz/60Hz  7KW

2 、炉管： 高纯石英管，外径 Ø 100mm ×内径 Ø 92mm × 1400mm

3 、加热元件： 掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆

4 、加热区： 温区 I 长 220mm ，温区 II 长 440mm ，温度 III 长 220mm ，总长 880mm

5 、恒温区： 500mm （三个温区设为同一温度时）

6 、 工作温度： 1200 ℃，连续工作 1100 ℃

7 、升温速率：≤ 20 ℃ /min

8 、控温精度：± 1 ℃

9 、热电偶： 3 根 K 型热电偶

高真空机组

1 、输入电源： AC110V 或 AC220V 可切换  50Hz/60Hz

2 、消耗功率： 110W

3 、壳体尺寸： 600mm × 600mm × 700mm

4 、 承重量： 270kg

5 、抽气速率： N ₂ -33L/s ， He-39L/s ， H ₂ -32L/s

6 、工作范围： 1000mbar-<10 ^-7 mbar

7 、极限真空度： 10 ^-5 torr

8 、数字式真空显示计： 10 ^-8 mbar-10 ³ mbar

质量流量混气系统

1 、质量流量计： 9 通道精密质量流量计

2 、流量计范围： 10sccm-1000sccm 三个， 20sccm-200sccm 三个， 30sccm-10sccm 三个

3 、压力表： 3 个，用来检测混合气体压力

产品规格

尺寸：炉体 550mm × 380mm × 520mm ，高真空机组 600mm × 600mm × 700mm ，

质量流量混气系统 600mm × 600 mm × 700mm

重量： 100kg

真空配 件

1

不锈钢真空密封法兰

2 个

2

精密针阀

2 个

3

1/4 ″ 软管接头

1 个

4

高温硅胶 O 型密封圈（可承受 300 ℃）

6 个

5

氧化铝管堵

1 套

6

KF-40 真空波纹管

1 根

7

KF-40 快速卡箍

3 个

8

KF-25 卡箍

2 个

可选配件

防腐型数字式真空显示计