万喜堂app下载老虎机 2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2

产品型号

2 英寸高真空磁控溅射头 HVMSS-SPC-2

主要特点

1 、采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作。

2 、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均匀分布。

3 、磁体表面涂有保护层，以防止冷却水的腐蚀，延长其使用寿命。

4 、标准的 HN 型接头，可与 DC 和 RF 电源相匹配。

5 、安装采用标准真空接头，便于操作。

6 、靶材更换较为简单，无需调整溅射头的高度。

技术参数

1、 阳极护罩直径： Ø 3.5 "

2 、 所用靶材：直径 2 " （50.8mm ），非磁性靶厚度 1/4 " ，磁性靶厚度1/16 "

3 、 磁铁 ：NdFeB 稀土永磁体

4 、靶材利用率： 30%

5 、所需功率： DC 1000W ， RF 500W

6 、溅射电流： 3A

7 、溅射电压： 100V-1000V

8 、溅射时腔体真空度： 5mtorr-100mtorr

9 、溅射均匀性曲线：

10 、水冷却：水管外径 0.25 " ，流速0.8GPM ，进水温度 <20 ℃

产品规格

可选配件

1 、循环水冷机，流量为 16L/min ，水箱容积为 6L 。

2 、同时购买 300W 射频发射器和 2 " 磁控溅射头时，本司赠送1 个高真空快速接头。接头内径 为0.75 " ，可将溅射

  头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1 " ，真空腔体的壁厚 不得大于1 " 。