万喜堂彩票最新网址 GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪

产品型号

GSL-1700X-SPC-2 小型程序控温蒸发镀膜仪

主要特点

1、 已通过 CE 认证。

2 、 采用石英腔体，易于清洁和样品的放入 。

3 、 样品 台可旋转，能够使所制薄膜达到更好的均匀性 。

4 、 采 用 钨丝作为发热源，温度可达到 1700 ℃，并配有专用的氧化铝舟装载样品（仅 1600 ºC 以下使用，若蒸 发温度大于 1600 ºC ，样品应直接放在钨丝篮中） 。

5 、 热电 偶安装在坩埚底部，以便于温度测量和控制 。

6 、可 将设 备转换到手动调节状态，内部不安装热电偶，直接采用手动调节输出电流大小，发热源温度可达 2000 ºC ，可达到对样品镀碳等实验要求。

7 、 可向 真空腔体中通入惰性气体，对腔体进行清洗，也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜。

8 、 进气口 配有针阀，用于调节进气流量。

技术参数

1 、 电压： AC 208V-220V 50Hz/60Hz 单相

2 、 功率： 500W ，电流为 30A

3 、 真空腔体： 石英腔体，直径 Ø 6 "

4 、 样品台：直径 Ø 50mm ；可旋转，转速5rpm ；与蒸发源间距可调，调节范围 60mm-100mm

5 、 温度： 1700 ºC

6 、热电偶： S 型热偶，工作温度 200ºC - 1500ºC （可选用 B 型热偶，工作温度 1200ºC - 1700ºC ）

7 、控温精度： ±1 ºC ，数显温度控制器， 可设置30 段升降温程序

8 、钨丝篮： 2 个

9 、真空接口： KF40

10 、真空计：数显防腐真空计 PCG554 ，测量范围 3.8 × 1 0 ^-5 -1125torr

11 、进气接口： 1/4NPS

产品规格

尺寸： 44 0mm × 33 0mm × 63 0mm

可选配件

1 、 机械泵 （带油污过滤器）（真空度 <10 ^-2 torr ，可以蒸发贵金属，如 Au 、 Ag ）

2 、 分子泵 （可获得高真空，真空度 <10 ^-5 torr ，蒸发易氧化材料，如 Al 、 Mg 、 Li 等）

3 、 低真空系统

4、 高真空系统

5、 等离子清洗机 （镀膜前对基片进行清洗，可获得更好的薄膜强度）