特点: 高精度,多用途的层流式质量流量计 ■ 精度可达读数的 ±0.8%, 满量程的±0.2%;重现性为±0.2% ■ 可测量20种标准气体-根据显示可选 ■ 流量在1 SCCM范围内1%~99%可调节,量程可达1000 SLPM ■ 具有NIST追踪证书 这种流量计通过测量气体通过层流器(LFE)产生的压降来测量气体流量。 因为层流器已经 将气流分层,因此无需在流量计上再使用逆流或顺流直管,极大地简化了流量计的安装过程。 同热质量技术相比,LFE设计具有超短的反应时间(10毫秒以内),可直接使用而无需预热 等待。 使用显示屏周边环绕的连体键盘即可完成全部编程操作。 可通过0~5 VDC信号将流量值输 出到远程显示屏,记录仪或用于调节阀门/泵的控制器上。 流量控制器具有积分PID功能,可以随流量要求的变化而做出调节。 可使用键盘,可选的 设定控制模块,0~5V信号或RS-232输入信号进行流速设定。 设定控制模块订购信息见下 表。 订购使用下表中的电池包,可实现流量计便携式使用。 随机配备: 厂商提供的NIST追踪证书,120/230 VAC电源适配器,带通讯线。 参数 颗粒尺寸 1 LPM以内的型号: 20 µm 1 LPM ~1000 LPM的型号: 50 µm 精度: 读数的±0.8%;±0.2% 满量程 重现性: ±0.2% 反应时间 流量计: 10 msec 流量控制器: 50 msec 使用温度: -10~50°C 压力: 10 bar 压力降: 0.05~0.20 bar (流量计) 输出信号: 0~5 VDC, RS-232, 0~10 VDC 输入信号: 0~5 VDC, RS-232, 0~10 VDC 浸润部件 流量计: 302和303 SS, Viton®, 硅酮RTV,和玻璃强化尼龙,铝 流量控制 器: 302, 303 SS; Viton, 硅酮RTV, 玻璃强化尼龙, 铝, 黄铜, 410 SS, 硅, 玻璃。 流速范围 | 质量流量计 | 质量流量控制器 | 设定控制模块 ‡ | 目录号 | 目录号 | 目录号 | 0.01~1 mL/min | TM-32908-51 | TM-32907-51 | TM-32907-83 | 0.05~5 mL/min | TM-32908-53 | TM-32907-53 | TM-32907-85 | 0.1~10 mL/min | TM-32908-55 | TM-32907-55 | TM-32907-87 | 0.5~50 mL/min | TM-32908-57 | TM-32907-57 | TM-32907-89 | 1~100 mL/min | TM-32908-59 | TM-32907-59 | TM-32907-91 | 2~200 mL/min | TM-32908-61 | TM-32907-61 | TM-32907-93 | 5~500 mL/min | TM-32908-63 | TM-32907-63 | TM-32907-97 | 0.01~1 LPM | TM-32908-67 | TM-32907-67 | TM-32907-83 | 0.05~5 LPM | TM-32908-69 | TM-32907-69 | TM-32907-85 | 0.1~10 LPM | TM-32908-71 | TM-32907-71 | TM-32907-87 | 0.5~50 LPM | TM-32908-73 | TM-32907-73 | TM-32907-89 | 1~100 LPM | TM-32908-75 | TM-32907-75 | TM-32907-91 | 2.5~250 LPM | TM-32908-77 | TM-32907-77 | TM-32907-95 | 5~500 LPM | TM-32908-79 | TM-32907-79 | TM-32907-97 | 10~1000 LPM | TM-32908-81 | TM-32907-81 | TM-32907-99 | |