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更新时间:2023-09-26 07:04:11 浏览次数:156次
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万喜堂app下载彩票 HMDS真空烘箱/半导体行业应用防爆真空型干燥箱各类尺寸可按照客户的要求定制欢迎询价!防爆真空干燥箱工作室采用不锈钢,外壳为优质钢板喷塑制成,超细玻璃棉填充内外箱夹层做为隔热保温层,门上设观察窗采用双层玻璃门,内层为钢化玻璃外层为玻璃,或采用全钢化玻璃,也可采用充填保温棉门保温效果更佳。工作室与门之间装有热压成塑的耐热硅橡胶密封圈以保证箱门与工作室的密封性。
万喜堂app下载彩票 HMDS真空烘箱/半导体行业应用防爆真空型干燥箱在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺显得更为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。
万喜堂app下载彩票 HMDS真空烘箱/半导体行业应用防爆真空型干燥箱特征1)设备外壳采用科研级不锈钢316L不锈钢材质制作,内胆为不锈钢316L材料制成;采用C型不锈钢加热管,均匀分布在内胆外壁,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置;采用钢化、双层玻璃观察窗,便于观察工作室内物品实验情况。2)箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内保持高真空度。3) 采用微电脑PID控制,系统具有自动控温,定时,超温报警等,采用LCD液晶显示,触摸式按钮,简单易用,性能稳定.
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