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GDA 750 HR/GDA 550 HR是高灵敏度、高性能的光谱仪,可适用于表面和涂镀层的化学元素含量分析。多达79个分析通道,采用PMT检测器,GDA 750 HR/GDA 550 HR型辉光放电光谱仪是高分辨率、高灵活性和高分析精度的仪器,同时可安装的高分辨率CCD光学系统(选装件),允许同时分析所有元素,具备全谱功能,也可在现有的方法中添加任一元素的任一谱线。这种灵活性在实际分析中,尤其对于元素含量和深度测定中至关重要。
- 所有元素,包括轻元素(H,O,N,CI,和C)均可测定。
- 在含量-深度测量中,分析深度可达200um以上,层分辨率可达1纳米。
- GDA 750 HR/GDA 550 HR也可进行基体总量分析,尤其对于复杂基体,具备优异的线性校准曲线。检出限可达亚ppm级。
- GDA 750 HR/GDA 550 HR装备有一代的辉光激发光源,溅射直径从1mm至8mm。
- 采用通用样品夹具,也可进行小样品和异形样品的分析,无需更换特殊电极。
- GDA 750 HR也可选装配置脉冲式射频光源(选装件),用于分析非导体材料。采用脉冲式射频光源后,可分析非导体、热敏感样品,如:陶瓷、玻璃、有机涂层、有机薄膜。还可选装配置特殊样品转移室(选装件),用于分析极薄的薄膜和在空气中易氧化的薄膜。
激发光源:
- 同一激发光源允许安装直径为1mm至8mm电极,从而保证优秀的稳定性和重复性
高效的样品直接冷却。可直接分析热敏感样品、极薄的金属薄膜和有机薄膜。如可直接分析50um的不锈钢薄膜
- 优化的氩气流量控制,可以同时实现低检出限和高深度分辨率
- 专门设计的自动清扫装置,保证了高精度、高重复性测量
- 样品分析厚度45mm,最小厚度50um
- *程序自动控制的直流光源(DC),电压可达1500V,电流250mA
- *程序自动控制的射频光源(RF),功率150W,电压、电流自动监控,实时等离子自动调节、脉冲工作模式(选装件、仅GDA 750有效)
- 选装件:自动进样器,程序控制100位
光学系统:
- 光谱分辨率优于20pm(FWHM)
- 光谱范围:190nm--800nm
- Paschen-Runge光学系统,焦距750mm
- 全息原刻光栅,2400线/mm
- 出射狭缝,预设所有元素通道
- 可同时安装63个分析通道,选用选装件(400mm),可再附加16个分析通道
- 方便易操作的透镜清洁,可立即进行分析
- 优化的检测器高压系统,定量测试时,线性动态范围106
- 检测器增益自动调节
- 选装件:高性能CCD光学系统,光谱范围200nm--800nm。光谱分辨率可达0.02nm(FWHM)。与主光学系统同时工作
- CCD光学系统可无限制添加分析通道,真正实现全谱同时测量
- 选装件:单色仪,光谱范围可扩展至1500nm。可同时安装3个光栅,独立工作。
真空系统:
- 全不锈钢壳体,可充分保证痕量元素的分析,尤其对于N元素分析
- 光室真空采用二级旋转叶片真空泵,噪音<50dB
- 光源使用无油真空泵,*免除C,H,O,S,P等元素污染
- 内置安全阀设计,以避免突然断电对旋转叶片泵的损害
- 选装件:涡轮分子泵
WinGDOES软件:
- Windows平台运行
- 使用界面简单、易懂,分级管理和操作
- 功能强大
- 方法建立简便,在线指导
- 校准样品管理,样品添加
- 多种校准模式
- QDP定量分析校准
- 用户定制测量报告模式
- 数据处理和再处理功能
- 多种格式数据输出
- 分析过程中界面语言切换
应用:
- 热处理
精确测量所关心元素的含量-深度分布,定性、定量检测表面污染物、夹杂物和物相比例
- 涂镀层
可获得涂镀层完整的化学组分信息、层厚度,元素含量-深度分布。非导体涂镀层,如:油漆、釉等可采用RF光源分析
- 硬质合金层
快速分析硬质合金层和热处理工件的渗层化学组分
- 陶瓷
采用RF光源可精确可靠的测量
- 电镀
测量电镀层的复杂结构和过渡界面信息,化学组分含量、层厚、质量分布,也可进行缺陷鉴别和分析
- 化学组分
精确测量化学元素含量
高精度、高重复性检测
快速分析:<60s
可分析从H至U的所有元素,检测范围从ppm至99%
- 太阳能电池薄膜
检测太阳能光伏电池薄膜中化学元素含量分布,如:Cu(In,Ga)Se2
辉光放电光谱仪主要应用领域:
- 汽车制造及零部件
- 金属加工、制造
- 冶金
- 航空、航天
- 电子工业
- 玻璃、陶瓷
- 表面处理:化学气相沉积、物理气相沉积等
- 电镀
- 光伏电池、锂电
- 科学研究