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更新时间:2023-04-22 07:54:59 浏览次数:237次
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万喜堂app下载官方入口 椭圆偏振光谱仪是一种无损无接触的光学测量技术,基于线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态的改变(强度和相位),通过模型拟合后获得各层厚度以及光学常数(n,k)。万喜堂app下载官方入口 椭圆偏振光谱仪的光谱范围1宽可覆盖190 nm-100 nm,可测厚度范围为几埃至几十微米。*的光弹调制技术和微光斑可视技术可以精确选定待测区域,获得准确的测试结果。
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