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万喜堂app下载老虎机 6英寸小型等离子清洗机

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更新时间:2024-01-19 07:53:47 浏览次数:141次

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产品简介

PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调

详细介绍

PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

设备名称

万喜堂app下载老虎机 6英寸小型等离子清洗机-PCE-6 (2019.11.1-科晶实验室审核)


产品提示

1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示


设备特点

拥有6英寸清洗腔室,可清洗约5英寸直径的基片。

·通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、清洗时间如图一。

真空泵的开闭如图二。

·时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。

·设有一个三通阀,可大体控制进气流量。


图一.gif



主要参数

输入功率:AC 220V,50/60 Hz,

射频功率:30 W

真空泵:<>

总功率:<>

射频功率:射频功率(施加在线圈上的高压和高频电流)可以在三个级别上调节:低设置7.2W;中设置10.2W; 高设定30W

射频频率:13,56 MHz




更多参数请联系科晶销售部

机体结构

·高纯石英腔体,Φ160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Φ45mm 的观察窗

·带观察窗的铰链式门,便于样品加载和观察

控制面板:控制功能:清洁时间,射频功率,真空泵。


惰性气体

·通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等(根据材料性质选定)

·等离子清洗机不得使用易燃及腐蚀性气体


外形尺寸

·400mm×300mm×300mm


净重

10.2kg


认证

CE认证


质保期

一年保修,终身技术支持。

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


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