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万喜堂彩票app下载中心 日本雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC210

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更新时间:2023-10-03 07:14:26 浏览次数:167次

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产品简介

■操作性功能●射频13.56Mhz0-300W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性

详细介绍

■操作性·功能
●射频13.56Mhz0-300W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。
●标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。
●平行平板腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品,无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。
■安全性·保护
●装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯,可实时监测和了解机器的运转状态。
●装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。
■产品优势
●等离子清洗机清洗效果好,清洗效率高,功率大,应用范围广。
●对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求。
●等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
●高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。
●特制电极和托盘结构,可保证样品可得到全面有效的清洗。
型号 PDC210
等离子模式 RIE( DP模式选配)
电极构造 平行平板(固定)
高频输出 Max500W
频率 13.56MHz
控制•显示 液晶触摸屏
反应室尺寸 W400 x D250 x H150mm
电极尺寸 W250xD170mm
反应室材质
反应气体 2系统(Ar、O2)
填充气体 N2或干燥空气
反应气体流量控制 聚合控制器
真空泵 油泵(约345L/分)标配
气体导入口 反应气体2个、填充气体1个
外形尺寸 W540 x D600 x H600mm
重量 约 105kg
电源 三相AC200V6A

关键词:发生器

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