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更新时间:2023-10-23 07:12:01 浏览次数:149次

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产品简介

特点●操作快捷方便:放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒

详细介绍

特点
●操作快捷方便:放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。
●软性基板也可以进行传送操作。
●传送速度可在Hi-Low间调节。●可通过网络进行远程操作(选购品)。
模式 RIE(DP模式选购)
高频输功率 600W
反应台尺寸 W385×D362mm
反应气体 2进气系统(氧气、氩气)
反应气体流量控制 质量流量控制器
气体导入口 反应气体2个、填充气体1个、空气1个
内腔尺寸 W395×D378×H45mm(内尺寸)
外形尺寸 W1860×D1100×H1800mm
真空泵 旋转式真空泵(约500L/min)

关键词:流量控制器

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