万喜堂app下载网页版 YAMATO等离子清洗机PR1000

高频等离子表面处理装置。

■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性。
● 标准配备电离式真空计，实时显示真空度，使得控制更为精确。
● 纯净石英腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品，无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。

■ 安全性·保护
● 装载有气体流量、压力、等离子发生器异常等三层报警灯，可实时监测和了解机器的运转状态。
● 装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器，以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置。
● 发生器保护回路：超负荷或者RF发生器发生问题时，可自动调低频率来保护发生器。
● 门锁开关：门在未*关闭时无法启动电源。
● 侧板锁：本体侧板突然打开或者未关好时，会停止电源。
● 紧急停止按键（EMO）标准配备。
● 运行中ERR报警：运行中出现以下问题设备会出现ERR报警，并停止装置：RF输出值与设定值不符，气体流量值与设定值不符，RF反射波超过一定范围，真空度未达到设定值，等离子处理后，设定时间内，未恢复到大气压。

■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。
●对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求。
●等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。
●高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。
●特制电极和托盘结构，可保证样品可得到全面有效的清洗。
●安全保护措施绵密，有效防止对机器以及样品的损害。

规格：