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万喜堂app下载网页版 YAMATO等离子清洗机PR1000

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地 上海市

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更新时间:2022-10-19 14:24:18 浏览次数:275次

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经营模式:其他

商铺产品:31条

所在地区:

产品简介

万喜堂app下载网页版 YAMATO等离子清洗机PR1000

详细介绍

高频等离子表面处理装置。

■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。
● 标准配备电离式真空计,实时显示真空度,使得控制更为精确。
● 纯净石英腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品,无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。

■ 安全性·保护
● 装载有气体流量、压力、等离子发生器异常等三层报警灯,可实时监测和了解机器的运转状态。
● 装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器,以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置。
● 发生器保护回路:超负荷或者RF发生器发生问题时,可自动调低频率来保护发生器。
● 门锁开关:门在未*关闭时无法启动电源。
● 侧板锁:本体侧板突然打开或者未关好时,会停止电源。
● 紧急停止按键(EMO)标准配备。
● 运行中ERR报警:运行中出现以下问题设备会出现ERR报警,并停止装置:RF输出值与设定值不符,气体流量值与设定值不符,RF反射波超过一定范围,真空度未达到设定值,等离子处理后,设定时间内,未恢复到大气压。

■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好,清洗效率高,功率大,应用范围广。
●对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求。
●等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
●高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。
●特制电极和托盘结构,可保证样品可得到全面有效的清洗。
●安全保护措施绵密,有效防止对机器以及样品的损害。

规格:

型号

PR 100 0

方式

DP 模式、圆柱形腔体

性能

发生器功率:

0- 10 00W

发生器频率:

射频 RF13.56Mhz

发生器匹配方式:

自动匹配( Auto matching)

构成

腔体材质:

石英

腔体内尺寸:

φ400×L500mm 6 2 . 8L

反应气体:

双路工艺气体,其中一路可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体,一路防腐蚀气路支持 C F4 .

填充气体:

一路氮气

控制方式:

全自动控制, 7 寸液晶触摸屏

真空度显示:

测量高真空的电离式真空计标准配备,实时显示腔体内真空度

配管材质:

SUS 不锈钢以及特氟龙

门:

                                          铰链门

涂装颜色:

标准色,白系

外形尺寸:

W 80 0 × D 919 × H 1958 mm (高度含警报灯)

真空泵:

无油干式真空泵 抽速 60 m3/hour ,吸气口 NW40, 排气口 N W25

电源规格:

  3 phase   AC2 0 0V  50/60Hz 8 A

重量:

2 1 5kg

附属品

真空管件一套、真空转接接头一套、 6 寸、 8 寸石英舟各一枚


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