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​蔡司三维X射线显微镜 Xradia 610 & 620 Versa (X-ray microscope)，是采用传统CT技术与光学显微技术相结合，采用新型闪烁体将X射线信号转化为可见光信号，然后通过光学系统和高灵敏度、高分辨率CCD相机得到数字图像的一种无损立体重构显微成像设备。

三维X射线显微镜主要由X射线源、探测器、CCD相机、样品台、工作台、高速工作站、系统软件等组成。X射线源作为CT成像中的一个主要部件，对于CT成像有着比较重要的作用，影响CT的分辨率的一个重要因素是源焦点尺寸(光斑)的大小，光斑越大X射线成像时边界越不清晰。目前采用透射靶的技术X射线光斑远小于反射靶的光斑，实际成像效果上，分辨率会更高，边界更锐，有利于后续的图像处理。
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蔡司X射线显微镜 应用领域：1. 材料科学，如三维无损分析；2. 生命科学，如微观结构成像；3. 地球科学，如地质、油气、矿产、古生物等三维成像；4. 电子和半导体行业，如形貌测量及失效分析；5. 原位力学、变温试验；6. 衍射衬度成像，实现三维晶粒取向分析