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SKY®CDG025D0.1...1000托/毫巴INFICONSKYCDG025D电容隔片真空计系列的高精度温度补偿型压力计可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定性能
INFICON SKY CDG025D 电容隔片真空计系列的高精度 温度补偿型压力计可以在恶劣的 生产加工环境中提供稳定性能。 高级数字电子元件用于改进 真空计的性能，具有一键调零功能 和设定点调整等易于操作的特性。 防腐蚀超纯陶瓷传感器提供 优异的零点稳定性， 预期使用寿命长达数百万次压力循环（包括气压突变）。 的传感器屏蔽（正在申请）用于保护 真空计，使其免受加工污染。 坚固的机械设计和数字 电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度 补偿。 CDG025D 电容隔片真空计为开机后快速稳定 以及从大气气压中快速恢复的功能树立了新的标准。
全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托
电源接通后快速稳定
暴露于大气压后快速恢复
防腐陶瓷传感器
的长期信号稳定性
温度补偿
传感器防污染保护
一键调零功能
电源范围广
用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备
数据存储和显示制造设备
工业真空设备
常规高精度压力测量
| 类型 | 1000 Torr / 1100 mbar | 500 ... 10 Torr / mbar | 1 Torr / mbar | 0.25 Torr | 0.1 Torr / mbar | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.25 | 0.5 |
| 温度效应 | | | | | | |
| 零点 | percent FS/°C | 0.005 | 0.005 | 0.015 | 0.02 | 0.02 |
| 满量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.03 | 0.03 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
| 压力，Z大 | kPa (absolute) | 400 | 260 | 260 | 130 | 130 |
| 反应时间 (2) | ms | 30 | 30 | 30 | 130 | 130 |
| Z低读数 | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 建议的Z低读数 | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 建议的Z低控制压力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 温度 | | | | | | |
| 运行（环境） | °C | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 |
| 在法兰处烘烤 (3) | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
| 贮存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 |
| 电源电压 | V (dc) | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 |
| 功耗 | W | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
| 保护等级 | | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 |
| 标准 | | | | | | |
| CE 合规 | | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS |
| ETL 认证 | | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 |
| 电气连接 | | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male |
| 设定点 (4) | | | | | | |
| 设定点数量 | | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) |
| 继电器触点 | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 | |
| 滞后 | percent FS | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 暴露于真空的材料 | | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L(6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L(6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L(6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L(6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L(6)), AgCuTi hard solder, sealing glass |
| 内部容积 | | | | | | |
| 1/2'' 管 | cm³ (in.³) | 3.6 (0.22) | | | | |
| DN 16 ISO KF | cm³ (in.³) | 3.6 (0.22) | | | | |
| DN 16 CF-R | cm³ (in.³) | 3.6 (0.22) | | | | |
| 8 VCR® | cm³ (in.³) | 3.6 (0.22) | | | | |
| 重量 | | | | | | |
| 1/2'' 管 | g | | | | | |
| DN 16 ISO KF | g | | | | | |
| DN 16 CF-R | g | | | | | |
| 8 VCR® | g | | | | | |
(1) 25 °C 环境温度时非线性、滞后、可重复，运行 2 小时后不产生温度效应。
(2) 增加 10 … 90 % FS
(3) 非运行
(4) 仅适用于 CDG025D-S
(5) 28% 镍、23% 钴、49% 铁
(6) 18% 铬、10% 镍、3% 钼、69% 铁
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