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更新时间:2022-10-24 13:41:06 浏览次数:232次
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搭载场发射电子光学系统将岛津EPMA分析性能发挥到从SEM观察条件到1μA量级,在各种束流条件下都拥有空间分辨率的场发射电子光学系统
搭载场发射电子光学系统 将岛津EPMA分析性能发挥到
从SEM观察条件到1μA量级,在各种束流条件下都拥有空间分辨率的场发射电子光学系统。结合岛津传统的高性能X射线谱仪,将分析性能发挥至。
当之无愧的“The Grand EPMA" ,水准的EPMA诞生!
超高分辨率面分析
对碳膜上Sn球放大3万倍进行面分析。即使是SE图像(左侧)上直径只有50nm左右的Sn颗粒,在X射线图像(右侧)上也是清晰可见。
■ 的空间分辨率 EPMA可达到的别的二次电子图像分辨率3nm(加速电压30kV)分析条件下的二次电子分辨率。 (加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA) ■ 二次电子图像分辨率3nm 碳喷镀金颗粒的观察实例。实现分辨率 3nm(@30kV)。相对较高的束流也可将电子束压 细聚焦,更加容易的获得高分辨率的SEM图像。
■ 大束流超高灵敏度分析 实现3.0μA(加速电压30kV)的束流。 全束流范围无需更换物镜光阑。 ■ 最多可同时搭载5通道高性能4英寸X射线谱仪 无人可及的52.5°X射线取出角。 4英寸罗兰圆半径兼顾高灵敏度与高分辨率。 最多可同时搭载5通道相同规格的X射线谱仪。 ■ 全部分析操作简单易懂 全部操作仅靠一个鼠标就可进行的*可操作性。 追求「易懂」的人性化用户界面。 搭载导航模式,自动指引直至生成报告。
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