万喜堂app下载 URE-2000/35A光刻机

1． 技术特征

1 ） 非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，全自动）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）

2 ） 采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消除曝光间隙，采用350W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程度很高，操作十分方便。

2．技术参数

1 ） 曝光面积：6英寸

2 ） 曝光波长：365nm

3 ） 分辨力：1-1.2 m m （胶厚 2 m m 的正胶）

4 ） 对准精度： ± 0.8 m m

5 ） 掩模样片整体运动范围： X ：15 mm;Y: 15 mm

6 ） 掩模尺寸：3英寸、 4 英寸、 5 英寸、 7 英寸

7 ） 样片尺寸：直径 f 15mm-- f 1 5 0mm （各种不规则片）

厚度 0.1mm-- 6 mm

8 ） 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

9 ） 具备真空接触曝光、硬接触曝 光 、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能

10 ） 照明不均匀性： 6 % （ f 1 5 0mm 范围）

11 ） 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜 目视 对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数 400 倍，光学 + 电子放大 800 倍

物镜三对：4倍、 10 倍、 20 倍

目镜三对：10倍、 16 倍、 20 倍

12 ） 调平接触压力通过传感器保证重复

13 ） 数字设定对准间隙和曝光间隙

14 ） 具备压印模块接口，也具备接近模块接口

15 ） 掩模相对于样片运动行程：

   X: ± 5mm;   Y: ± 5mm; q : ± 6º

16） 焦厚：350 m m （SU8胶，用户提供检测条件）

17） 光源平行性：3.5  º

18 ） 曝光能量密度：>15mW/cm2,照明面温度 <35  º

19 ） 单层曝光一键完成

20 ） 采用球气浮自动找平

21 ） 汞灯功率：35 0W （直流， 进口 ）

3．外形尺寸： 1200mm （长） ´ 900mm(宽 ) ´ 1750mm（高）

4．配置

4.1. 曝光头

1 ） 冷光椭球镜

2 ） 350W进口直流高压汞灯 ( 德国欧司朗 )

3 ） XYZ汞灯调节台

4 ） 冷却风扇

5 ） 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1 、准直镜镜 2 、蝇眼透镜组（79个透镜）、 i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1 、反射镜 2

4.2. 对准工件台

1 ） 掩模样片整体运动台

2 ） 掩模样片相对运动台

3 ） 转动台

4 ） 样片调平机构 , 三点自动完成

5 ） 样片调焦机构，电机自动调

6 ） 基片抽拉式上下机构

7 ） 承片台4个： f 15mm 、3英寸、 4 英寸、 6 英寸（可按用户要求增减）

8 ） 掩模夹4个： 3 英寸、 4 英寸、 5 英寸、7英寸（可按用户要求增减）

4.3. 对准显微镜

1 ） 光源（配备品 2 只）、 电源

2 ） 双目双视场对准显微镜主体

3 ） 目镜 3 对（ 10 倍、 16 倍、 2 0倍，共 6 个）

4 ） 物镜 3 对（4倍、 10 倍、20倍，共 6 个）

5 ） CCD对准系统， 21 寸液晶显示器

4.4. 电控系统

1 ） 汞灯触发电源 ( 35 0W 直流汞灯 )

2 ） 单片机控制系统

3 ） 控制柜桌

4.5. 气动系统

1 ） 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

2 ） 电磁阀驱动

3 ） 气动仪表

4.6. 其他附件

1 ） 真空泵一台

2 ） 空压机一台

3 ） 管道

4.7. 技术资料

1 ） 使用维修说明书

2 ） 显微镜使用说明书