1．技术参数
l 曝光面积： 150mmX150mm
l 曝光波长：365nm
l 分辨力：0.8-1 u m（胶厚2 u m的正胶）
l 对准精度： ± 0. 6 u m
l 掩模样片整体运动范围： X ：15 mm;Y: 15 mm
l 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
l 样片尺寸：直径 f 15mm-- f 1 5 0mm （各种不规则片）
厚度 0.1mm-- 5 mm (可拓展至15mm)
l 曝光方式：定时（倒计时方式），0.1s-9999s
l 具备真空接触曝光、硬接触曝 光 、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
l 照明不均匀性： 2.5 % （ f 1 0 0mm 范围） 5% （ f 1 5 0mm 范围）
l 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜 目视 对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数400倍，光学+电子放大800倍
物镜三对：4倍、10倍、20倍
目镜三对：10倍、16倍、20倍
l 调平接触压力通过传感器保证重复
l 数字设定对准间隙和曝光间隙
l 具备压印模块接口，也具备接近模块接口
l 掩模相对于样片运动行程：
X: ± 5mm; Y: ± 5mm; q : ± 6 度
l 胶厚：500 m m(SU8胶)
l 光源平行性：2°
l 曝光能量密度： >18mW/cm2
l 冷却方式：循环水+风冷
l 曝光面温度：<30 ° C
l 汞灯功率： 1000W （直流， 进口
2．外形尺寸： 1400mm（长） ´ 1200mm(宽) ´ 1950mm（高）
3．配置
（1）曝光头
l 冷光椭球镜
l 1000W进口直流高压汞灯 ( 德国欧司朗 , 长寿命型 )
l XYZ汞灯调节台
l 冷却风扇
l 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1 、准直镜镜 2 、蝇眼透镜组（109个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2
l 循环水冷系统
（ 2 ）对准工件台
l 掩模样片整体运动台
l 掩模样片相对运动台
l 转动台
l 样片调平机构 , 自动完成
l 样片调焦机构，自动调
l 承片台4个（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）
l 掩模夹 4 个（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）
l 基片抽拉式上下片机构
（ 3 ）对准显微镜
l 光源（配备品 2 只）、电源
l 双目双视场对准显微镜主体
l 目镜 3 对（ 10 倍、 16 倍、 2 0倍，共 6 个）
l 物镜 3 对（4倍、 10 倍、20倍，共 6 个）
（ 4 ） CCD 对准系统(选配 )
l 光源（配备品 3 只）、电源
l 成像光学系统（两套）
l 数据采集卡
l 三维工件台（两套）
l CCD （2只）
（ 5 ）电控系统
l 汞灯触发电源 (1000W 直流汞灯 )
l 单片机控制系统
l 控制柜桌
l 计算机系统及液晶显示器
（ 6 ）气动系统
l 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
l 电磁阀驱动
l 气动仪表
（ 7 ）其他附件
l 真空泵一台（无油泵）
l 空压机一台（泵）
l 管道
（ 8 ）技术资料
l 使用维修说明书
l 显微镜使用说明书
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