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1. 快速扫描测量
 通过提升微小区域的测量灵敏度以及配合了高速电动平台，可快速获得二维元素扫描图像。特别是强化了对线路板中铅的扫描测量能力，配备了铅扫描专用的滤波器。可扫描检测出无铅焊锡中 1,000ppm 以下的铅。

2. 宽视野高清晰度的光学系统
 可获得 250mm × 250mm 的 20 μ m 以下的高清晰度光学影像。从该光学影像可以精确测量位置， 仪器 的操作性得到了飞跃般的提升。此外，该光学影响还能和扫描后获得的影像进行重叠，从而实现了高精度的图像解析。

3. 快速测量微小区域的微量金属
 通过所配备的高密度微小 X 射线束和高计数率检测器，以及充分考虑到 X 射线荧光检测效率的设计，实现了测量的高灵敏度。可短时间测量微小区域的微量金属或薄膜。仅需 100 秒左右的时间就可检测出 1mm × 1mm 微小区域中的有害物质

4. 无需检测器的高计数率检测器
 标准配备了精工纳米独自研发设计无需液氮的高计数率检测器 Vortex 。免去了繁琐的液氮补给过程。开机时间也仅为短短数分钟，电子冷却系统更是值得信赖。减少了液氮在制造、运输时产生的二氧化碳的排放，同时因为高效率的检测速度而减少了电力的消耗，是一款环保型的仪器的因为可以在真空环境下测量，所以测量范围扩大为 Na ～ U 。（选配）。

5. 连续测量
 从所取得的宽视野样品观察画面到样品台上的样品可*多记录 500 个样品位置，可对不同测量条件的样品进行连续测量。

6. 微小区域的镀层厚度测量
 只需 10 秒左右的时间，便可对 0.2mm × 0.2mm 大小的 Au/Ni/Cu （金 / 镍 / 铜）等薄膜多层镀层的镀层厚度进行高精度测量。同时也可以对无铅焊锡镀层或化学镍镀层中含有的微量铅进行分析测量。