万喜堂app下载网页版 等离子技术真空分子泵机组

抽速速率（ L/S ）

140

进气口法兰

DN100 LF

DN100 CF

排气口法兰

KF 25 (DN)

压缩比

N2 ： 107

H2 ： 1×104

极限压强（ Pa ）

＜ 2×10-6 (DN 100 LF)

≤ 2×10-7 (DN 100 CF)

建议启动压强（ Pa ）

＜ 100

额定转速（ rpm ）

5100

启动时间（ min ）

＜ 2

轴承

精密脂润滑陶瓷轴承

振动值（ m m ）

＜ 0.05

建议前级泵（ L/S ）

1-2

充油量（ ml ）

脂润滑

水嘴

内径Φ10 直插自密封

冷却方式

水冷或风冷

冷却水温度（℃）

≤ 25

泵体烘烤温度（℃）

≤ 100

环境温度（℃）

5-40

润滑方式

脂润滑

安装方向

任意角度

重量（ kg ）

6 （ LF ） 8 （ CF ）