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ME-PT3000是一款高速共聚焦扫描显微镜，可用于精确可靠的3维(3D)测量。通过快速光学扫描模块和信号处理算法可实现实时共聚焦显微图像。专用于光伏行业对光伏电池片表面的栅线及绒面进行质量检测的光学仪器。以光学技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对光伏电池片上的栅线的高度与宽度、绒面上的金字塔数量进行定量检测，以反馈光伏电池片......
五大分析功能
提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，粗糙度分析包括线粗糙度、I面粗糙度、平整度等全参数分析功能；几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能；结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能；功能分析包括SK参数和体积参数等功能。
强大的数据处理功能
提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能，其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。
广泛的应用领域
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
高精度、高重复性
采用针孔共聚焦光学系统、高稳定性结构设计、优异的3D重建算法组成测量系统保证测量精度高
•测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能
•可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程
•结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程
•几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全
•一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能
•可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 显微物镜 | 10×、20×（选配）、50×、100× |
| 光学原理 | 共聚焦三维成像原理 |
| 视野尺寸 | 1.2×1.2mm~0.12×0.12mm |
| 综合放大倍率 | 198-39966 |
| 光源 | 白光LED |
| 受光元件 | 超高精细彩色CMOS |
| Z轴测量重复性 | ＜0.5% 在环境温度20 ±2 °C下用50X物镜测量4.7um标准台阶样块 |
| Z轴测量精度 | ±1.5% |
| Z轴显示分辨率 | 1nm |
| Z轴扫描范围 | 10mm |
| XY轴测量重复性 | ＜0.5% 在环境温度20 ±2 °C下用50X物镜测80um标准样块 |
| XY轴测量精度 | ＜0.5% |
| 载物台移动范围 | 230 x 230mm |
| 载物台负载 | 10kg |
| Mapping测量功能 | 可按模板进行多个区域的自动测量 |
| 光源寿命 | 60000小时 |
| 绒面金字塔测量 | 1、表面二维、三维结构； 2、单个金字塔的高宽测量； 3、金字塔计数功能：可自动统计出单位面积内的晶粒数量，并在视图上以十字符号标记出晶粒位置，不同规格金字塔的数量分布图。 |
| 栅线测量 | 1、栅线高度、宽测量功能：单视场内的剖面线数量可调节为不低于12条，高度和宽度数据自动计算，且自动计算出高宽比；同时提供高宽比的终端用户输入标称值功能，并可根据标称值自动进行OK/NG的判定； 2、栅线区域自动划分功能：可自动圈出栅线的边缘，并自动计算出该区域内栅线的面积、体积等参数； 3、栅线自动测量功能：具备多条栅线的自动搜索测量功能，能够根据不同规格的基板来生成测量模板并完成自动测量。 |
| Pad点测量 | 1、将Pad点按6×7分区域测量，通过拼接可得到3D全形貌； 2、弯曲起伏的形貌表面进行高度差异的测量，由此可以分析Pad点的印刷效果。 |
| 真彩图像功能 | 可扫描出表面的真彩图像，以便进行污染区分 |
| 凹槽测量功能 | 针对上下同宽凹槽、上宽下窄凹槽，均能够进行较好的3D轮廓图像重建并实现准确的深度和宽度测量分析 |
| 镜头防撞保护 | 软件ZSTOP设置限位防撞保护、硬件电子传感器防撞保护 |
| 噪声评价 | 具备纳米级分辨率的环境噪声检测功能模块 |
| 表面形貌重复性Str | 具备表面形貌重复性Str参数的一键式分析功能 |
| 外形尺寸 | 540*379*594mm |
| 总重量 | 45kg |
| 工作电源 | AC220V/50Hz |
| 工作环境 | 温度10℃~35℃，温度梯度 <1℃/15分钟，湿度30~80% 振动<0.002g，低于15Hz |
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