万喜堂app下载彩票 爱德华iH600真空泵

Edwards 万喜堂app下载彩票 爱德华iH600真空泵 广泛应用于光伏、半导体行业。

Edwards 万喜堂app下载彩票 爱德华iH600真空泵 产品介绍:

Edwards爱德华iH600 半导体干式真空泵为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性iH600 Edwards半导体干式真空泵在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

详情介绍:

iH600 Edwards半导体干式真空泵概述

Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的性和性能。iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性能的应用。

Edwards爱德华iH600 半导体干式真空泵应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

有关任何特定应用条件下 iH600系统稳定性的建议，请与江苏宇烁熠精密机械有限公司联系:

iH600 Edwards半导体干式真空泵功能和优势优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的。整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积

万喜堂app下载彩票 爱德华iH600真空泵 Edwards半导体干式真空泵数据

数字均为无气镇时的典型值。

本公司主营真空泵销售、维修、保养、回收服务，欢迎广大顾客洽谈业务！

爱德华IH600真空泵目前现货待售，期待您的询价！