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万喜堂彩票官网平台 NEXIV VMZ-NWL200影像测量仪

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地 上海市

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更新时间:2024-03-01 12:12:28 浏览次数:192次

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所在地区:上海上海市

联系人:王经理

产品简介

万喜堂彩票官网平台 NEXIV VMZ-NWL200影像测量仪是一款集成了影像测量系统“NEXIV"和晶圆加载器“NWL200"的自动晶圆测量系统。NEXIV 拥有的图像处理技术,可以自动对载具中装载的 6 英寸或 8 英寸晶圆进行高速、高精度的测量。

详细介绍

万喜堂彩票官网平台 NEXIV VMZ-NWL200影像测量仪

是一款集成了影像测量系统“NEXIV"和晶圆加载器“NWL200"的自动晶圆测量系统。NEXIV 拥有的图像处理技术,可以自动对载具中装载的 6 英寸或 8 英寸晶圆进行高速、高精度的测量。

高可靠性、高效率和可操作性

NEXIV 影像测量系统广泛运用于半导体行业,现已与尼康久经验证的 NWL200 自动晶圆装载系统集成。


打造出的成果便是 VMZ-NWL200,这是一款具有可靠性和效率的创新型测量单元。此外,专门开发的软件简化了需在工艺控制中执行的复杂操作。如今,高质量数据可以更快地反馈到生产线,从而限度地提高良品率。

高可靠性

高可靠性.jpg

VMZ-NWL200 可以自动且稳定地执行测量,因此消除了由于操作员对读数的不同解释而导致的结果易变性。 此外,Nikon 充分利用其作为光学设备制造商的优势,以提供清晰的图像,从而准确地检测被检查对象的边缘。

高效率

高效率.jpeg

只需点击一次,即可开始使用 VMZ-NWL200 执行检查。而且,测量效率是工业测量显微镜的三倍。该影像测量系统的效率高,可帮助实现低 COO(使用成本)。

高可操作性

高可操作性.jpg

由于晶圆图形显示在 GUI 上,操作员只需用鼠标点击相应的点即可指出要测量的芯片。

规格参数

设备 影像测量系统:NEXIV(VMZ-S3020 Type2、Type3、TypeTZ)
加载器:NWL200
晶圆 *1 尺寸:6、8 英寸(SEMI/JEIDA 标准)
兼容的载具 6 英寸:PA182-60MB-06XX (Entegris)
8 英寸:PA192-80M-06XX (Entegris)
产量 *2 6 分 45 秒
L/S 500 线/毫米
工作环境温度 19~26℃
工作环境湿度 相对湿度小于 70%
尺寸 4125 x 3040 mm
电源电压 AC100-120V/200-240V
电源频率 50Hz/60Hz
电流消耗 7.5A/3.7A
真空 -80kPa


*1. 销售前需进行晶圆传输评估
*2. 25 片晶圆的传输时间,不包括测量时间


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