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万喜堂彩票官网平台 气体传感器测试腔不锈钢真空探针台 探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本
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万喜堂彩票官网平台 气体传感器测试腔不锈钢真空探针台 的承片台X/Y/Z三个方向均可在真空环境下调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－13mm；z方向调节范围：0－13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。
| 技术参数 | |
| 腔体材质 | 304 不锈钢 |
| 上盖开启 | 铰链侧开 |
| 内腔体尺寸 | φ140x180 |
| 加热台材质 | 304 不锈钢 |
| 观察窗尺寸 | φ75 |
| 加热台尺寸 | 50x50 |
| 加热台温度 | 室温-350℃可调 |
| 加热台温控误差 | ±1 ℃ |
| 真空度 | 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
| 真空抽气口 | KF25 |
| 气体进气口 | 3mm-6mm 卡套接头 |
| 进气阀门 | 高精密针阀 |
| 抽气阀门 | KF25 真空挡板阀 |
| 压力表 | 机械压力表 -0.1-0.15mpa |
| 信号电极 | 4 个 |
| 探针数量 | 4 个 |
| 探针材质 | φ1.5钨针 其他材质可选 |
| 探针移动平台 | |
| X 轴移动行程 | 30mm ±15mm |
| X 轴控制精度 | ≤0.1MM |
| Y 轴移动行程 | 13MM ±6.5mm |
| Y 轴控制精度 | ≤0.05MM |
| Z 轴移动行程 | 13mm ±6.5mm |
| Z 轴控制精度 | ≤0.05MM |
| 信号电极 | |
| 电极芯 | 1 芯 |
| 电极引出接头 | BNC 母头 |
| 电极引出线 | 铜网信号屏蔽线 |
| BNC 引出接头 | X4 |
| 额定电流 | ≤5A |
| 额定电压 | ≤220V |
| 电极芯直径 | φ1mm |
| 接触电阻 | ≤5MΩ |
| 绝缘电阻 | ≥1000 MΩ |
| 外壳接地 | 是 |
| 电子显微镜 | |
| 电子显微镜根据客户需要配置不同倍率 请和客服沟通 | |
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