全自动磁控离子溅射仪 型号:M31/GVC-2000库号：M374697   参数输入电压 AC220V±10%，50Hz工作电压 DC600V大功率（主机与机械泵） 450W可选靶材 金、铂、银、铜、钛、铅等常用金属真空泵 两级直联旋片式真空泵 1L/s真空腔 约φ125×125mm样品杯 φ64×1整机尺寸（长×宽×高） 424×271×255（mm）重量（主机） 11 kg工作环境 温度 5～40℃，湿度<60%存储环境 温度-10~60℃，湿度<80%工作气体 Air / Ar保护功能 过流、真空双保护

全自动磁控离子溅射仪 型号:M31/GVC-2000库号：M374697   参数输入电压 AC220V±10%，50Hz工作电压 DC600V大功率（主机与机械泵） 450W可选靶材 金、铂、银、铜、钛、铅等常用金属真空泵 两级直联旋片式真空泵 1L/s真空腔 约φ125×125mm样品杯 φ64×1整机尺寸（长×宽×高） 424×271×255（mm）重量（主机） 11 kg工作环境 温度 5～40℃，湿度<60%存储环境 温度-10~60℃，湿度<80%工作气体 Air / Ar保护功能 过流、真空双保护

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