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戴经理
刻蚀镀膜仪型号:PECS II 685.M库号:M398493
刻蚀镀膜仪PECS II
型号685
刻蚀镀膜仪(PECS™)II是一款桌面型宽束氩离子抛光及镀膜设
备。
对于同一个样品,可在同一真空环境下完成抛光及镀膜.
PECS II是一款 独立、结构紧凑的台式设备。采用两个宽
束氩离子源对样品表面进行抛光,损伤层,从而得到高
质量样品,用于在SEM,光镜或者扫描探针显微镜上进行成
像、EDS、EBSD、CL、EBIC或其它分析。
PECS II采用WhisperLok®技术,可选配温控液氮冷却台。该
功能有助于避免抛光过程中产生的热量而导致的样品融化或者结
构变化。.
PECS II内置了一个10英寸的触摸屏。无论新手还是级用户,
都可提高样品的加工可控性及可重复性。数码变焦显微镜配合
DigitalMicrograph®软件,可实现对样品加工过程的实时监控及
储存彩照片,这便于在SEM中进行样品检查和分析。
主要应用
•半导体
•金属(氧化物,合金)
•陶瓷
•自然资源
技术规格
PECS II系统
离子源
离子两个配有稀土磁铁的潘宁离子
抛光角度0到18°
每支离子可独立调节
离子束能量(kV)0.1–8.0
离子束流密度峰值(mA/cm2)10
抛光速率(µm/h)300(对于硅试样)
离子束直径可用气体流量计或放电电压来调节
样品台
样品大小(长*宽*高,mm)32 x*15
转速(rpm)1–6
离子束调制角度范围可调的单向调制或双向调制
样品观察数码变焦显微镜,配有PC及
DigitalMicrograph软件(选配件)
真空系统
干泵系统两级隔膜泵支持80 L/s的涡轮分子泵
压力(torr)
基本压力5 x 10-6
工作压力8 x 10-5
真空规冷阴极型,用于主样品室;固体型,
用于前级机械泵
样品气锁WhisperLok技术,样品交换时
间小于1分钟
用户界面
10英寸彩触摸屏操作简单,且能够 控制所有参数
和配方式操作
尺寸及使用要求
外形尺寸(长x*宽*高,mm)575*495*615
运输重量(kg)45
功耗(W)
运行时待200
机时100
电源要求通用100–240 VAC,50/60 Hz(用
户 电压和频率)
氩气(psi)25
注:以上技术规格如有变化将不另行通知
订购型号
型号描述
685 Cold(685.C)带有冷台的PECS II
685 Pro(685.O)带有冷台和数字成像显微系统的
PECS II
685 Advantage(685.A)带有冷台、数字成像显微系统和马达
驱动离子系统的PECS II
685 Met Etch(685.M)PECS II基本版,不带溅射沉积
685 ProTransfer(685.OV)带有真空转移装置的PECS II Pro系
统
685 AdvantageTransfer(685.AV)带有真空转移装置的PECS II
Advantage系统
注:关于配件和耗材的详细情况,请咨询当地的销售代表。
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