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小型离子溅射仪采用二极（DC）直流溅射原理设计，操作简单方便，适用于扫描电子显微镜（SEM）样品制备,非导体材料实验电极的制作。技术指标如下：1.靶（上部电极）：材料：金，直径：50mm，厚度：0.1mm 纯度：99.999%2、真空室：直径：160mm，高：120mm3.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：50mm4．工作真空： 8×10-2—2×10-1 mbar5.离子电流表：50mA6.数显计时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间。7.电压：-1600DVC8.机械泵:2升/每秒9.工作室工作媒介气体：空气或氩气，10．微型真空气阀： 配有氩气进气口和微量充气调节，可连接φ3mm软管。11. 外型尺寸：360mm×300mm×380mm

小型离子溅射仪采用二极（DC）直流溅射原理设计，操作简单方便，适用于扫描电子显微镜（SEM）样品制备,非导体材料实验电极的制作。技术指标如下：1.靶（上部电极）：材料：金，直径：50mm，厚度：0.1mm 纯度：99.999%2、真空室：直径：160mm，高：120mm3.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：50mm4．工作真空： 8×10-2—2×10-1 mbar5.离子电流表：50mA6.数显计时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间。7.电压：-1600DVC8.机械泵:2升/每秒9.工作室工作媒介气体：空气或氩气，10．微型真空气阀： 配有氩气进气口和微量充气调节，可连接φ3mm软管。11. 外型尺寸：360mm×300mm×380mm