【简单介绍】
【详细说明】
UV 紫外臭氧清洗过程提供一种简单,经济,快速获得超洁净的表面,去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝 * 等)上的有机污染物。特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时,紫外清洗非常理想。获得超洁净的表面,只需要在传统清洗后,再用紫外臭氧清洗过程几分钟就可以啦。
紫外臭氧清洗可以去除:
皮肤油脂,有机硅油和油脂,助焊剂,残留的光刻胶,胶水溶剂,碳等。
怎样说是 “ 超 ” 洁净?
接触角测量方法 4 - 5 度。适用 AES 和 ESCA 测量细微的峰值。使用蒸汽测试,在冷凝和蒸发时形成*的彩虹装的条纹。通常情况下,使用清洗或是超声清洗工序后,清洁关键表面认为完成。紫外臭氧清洗提供一种新的清洗尺度。在传统清洗工序后加入紫外清洗的应用,产品的性能和可靠性的提升不断的证明这种新的清洗尺度的价值。
紫外臭氧清洗工作原理 :
UVOCS 清洗设备的核心是低压石英汞灯,产生 254 和 185nm 范围的紫外线。臭氧和等离子氧气产生,有机污染物分子在吸收 254nm 波长紫外线后被激发或分解。激发的有机污染物可以和等离子氧原子反应形成气体,比如 CO2,H2O 等。整个过程在室温 ** 发生,并且只需要 1 到几分钟完成。
* 注 1 : 白色氧化铝暴露在 UV 能量下会变黄。这种现象是由于基材吸收 UV 能量, 而不是一种涂层。这种氧化铝在加热情况下会转化为他原来的颜色。
** 注 2 : 清洗元件温度的上升取决清洗过程的时间长度。在大多数应用,元件温度可以视为室温。
关键特性 :
· 间歇式灯泡工作方式。灯和定时器通过关闭门来触发。
· 滑行部件托盘-光滑-低震动,滚珠轴承系统-高度到
· 坚固耐用,全部不锈钢结构
· 长寿命。低压石英水银蒸汽灯发射 254nm 和 185nm UV ,促进快速氧化,去除微量的有机残留物。
· 全面 UV 保护让设备操作更安全。
· 更低设备采购成本和操作成本。
·0-999 秒 / 分钟 / 小时定时器,能够精确控制。灯和定时器通过门关闭来触发。
· 臭氧排气护罩: UVOCS 托盘型号有一个臭氧护罩,可以允许 UVOCS 清洁设备放在你的生产线或是设备,和过程相关设备放在一起。这会使得材料的再污染zui小化。一个
· 在操作过程结束时有蜂鸣声。
·UV "ON" 指示灯和可见窗口。
· 操作简单:设定定时器,打开门,抽出托盘,将元件放在托盘上。将托盘滑入并关闭门。在清洗操作过程结束有蜂鸣声。打开门,移开全部的清洗元件。
UVOCS 紫外清洗机 | ||
型号 | T10x10/OES | T16x16/OES |
光照尺寸 | 10" x 10" ( 25.4× | 16" x 16" ( 40.6× |
有效面积 : | 100 sq. in. | 256 sq. in. |
宽 : | 14" | 20" |
深 : | 23 3/4" | 29 3/4" |
高 : | 14.5" | 14.5" |
托盘推出深度 : | 33" | 46" |
滑行托盘 : | 1 | 1 |
结构 : | 箱体和托盘为不锈钢结构 | |
功耗 : | 110Vac / 60Hz | |
臭氧排气系统 : | 有臭氧排气系统 | |
排气口尺寸 : | 3" 直径 | |
排气需要 : | 100cfm | 100cfm |
定时器 : | 在开始或结束时峰鸣 | |
"ON" 指示器 : | 有 | 有 |
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