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·利用热传递测量气体的质量流量
·DIE+ASIC,全量程和全温区校准和补偿
·流量测量范围和总误差 (standard cubic centimeters per minute 每分钟标准立方厘米数)
±50-±750 SCCM,0.25-1.0 %FS或4.5-7.5%读数
5-300 SLPM,0.5%FS或4-7%读数
·输出
I2C数字输出
放大模拟电压输出( 仅±50± 750 SCCM)
·校准气体
标准型:氮气(±50 ~ ±750 SCCM );空气(5~300 SLPM)
可定制:Ar2,N2,N2O,CO2,O2,CH4,Xe
·工作温度范围:-20-70 °C
·共模压力:60psi
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