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产品型号

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主要特点

1、高精度自动测量光学椭偏测量解决方案

2、全自动变角、调焦等控制平台，一键快速测量

3、软件交互式界面配合辅助向导式设计，易上手、操作便捷

4、丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力

5、采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)

6、高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集

7、全自动椭偏测量技术，基于行业电机控制技术，全自动调整测量角度，高精度控制样件台，实现样件快速自动对准找焦

8、颐光技术确保在宽光谱范围内，提供优质稳定的各波段光谱

9、数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料

技术参数

1、自动化程度：自动变角

2、应用定位：自动型

3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谱

4、分析光谱：380-1000nm(可扩至193-2500nm)

5、单次测量时间：0.5-5s

6、重复性测量精度：0.01nm

7、光斑大小：大光斑2-3mm,微光斑200um

8、入射角调节方式：自动变角

9、入射角范围：45-90°

10、找焦方式：自动找焦

11、Mapping行程：支持100x100mm(可选配)

12、支持样件尺寸：至200mm

可选配置

波段选择

V:380-1000nm

UV:245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度选择

自动:45-90°

其他选择

Mapping选择:100×100mm(供参考,按需定制)

温控台:室温一600℃(供参考,按需定制)

可选配件

1

温控台

2

Mapping扩展模块

3

真空泵

4

透射吸附组件