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集优异性能、操作简便性、多样化功能于一身
日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性，结合众多的自动化功能，可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察。
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■支持全视野移动。SEM MAP支持超大样品的全视野观察
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■Multi Zigzag，可实现多区域的大视野观察
■Report Creator，可利用获得的数据批量生成数据报告
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搭载了简约UI，简单操作，如同触屏般直观。
Multi Zigzag可以自动获取连续的视野。可以在不同的视野中拍摄多张高倍率图像，并使用Viewer功能拼接拍摄的图像，创建大视野图像。
*配件
通过采用4分割+1单元的设计，对每个单元进行计算，无需倾斜样品，即可获得成分图像、3D图像以及4方向凹凸图像。由于探测器的设计十分精巧，且灵敏度高，实现了高分辨率和高信噪比。
SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察。
SU3800/SU3900全新研发的SEM/EDS一体化功能，通过SEM操作界面即可完成测试位置确定、条件设置、样品分析以及生成报告等一系列操作。通过SEM的全面控制，可以提高测试效率，减轻了操作人员的负担。
Hitachi Map 3D可对SU3800/SU3900的5分割背散射电子探测器当中的4个不同方向的SEM信号进行演算分析，生成三维图像。支持2点间高度、体积和简易表面粗糙度（面粗糙度、线粗糙度）测量。可一次性接收四个不同方向的信号，因此，无需倾斜样品台或合成图像。
SU3800 / SU3900搭载了IPI，可以将SEM图像传输到由美国Media Cybernetics公司开发的图像处理软件Image Pro。只需单击一下，即可将数据从SEM传输到图像测量软件。
显示了锆石晶体在相同视野下的观察结果。在BSE图像中很难看清铬浓度的缓和偏差。但是,在CL图像中可以确认到暗 色区域是对应于错浓度较高的区域。
| ITEM | SU3800 | SU3900 | |
|---|---|---|---|
| 二级电子分解能 | 3.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式） | ||
| 15.0nm（加速电压1kV、WD=5mm、高真空模式） | |||
| 背散射电子分解能 | 4.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式） | ||
| 倍率 | ×5～×300,000（照片倍率*1） | ||
| ×7～×800,000（实际显示倍率*2） | |||
| 加速电压 | 0.3kV～30kV | ||
| 低真空度设定 | 6～650 Pa | ||
| 图像位移 | ±50µm（WD＝10mm） | ||
| 样品尺寸 | 200mm直径 | 300mm直径 | |
| 样品台 | X | 0～100mm | 0～150mm |
| Y | 0～50mm | 0～150mm | |
| Z | 5～65mm | 5～85mm | |
| R | 360°连续 | ||
| T | －20°～+90° | ||
| 可观察范围 | 130mm直径（R并用） | 200mm直径（R并用） | |
| 可观察高度 | 80mm（WD=10mm） | 130mm（WD=10mm） | |
| 电机驱动 | 5轴电机驱动 | ||
| 电子光学系统 | 电子枪 | 中心操控式钨丝发射 | |
| 物像镜头光圈 | 4孔可动光圈 | ||
| 检测系统 | 二级电子检测器、高灵敏半导体背散射电子检测器 | ||
| EDX分析WD | WD＝10mm（T.O.A＝35°） | ||
| 图像显示 | 自动光轴调整功能 | 自动光束调整（AFS→ABA→AFC→ABCC） | |
| 自动光轴调整（实时级别对齐） | |||
| 自动调整光束亮度 | |||
| 自动图像调整功能 | 自动亮度和对比度控制（ABCC） | ||
| 自动对焦控制（AFC） | |||
| 自动标记和焦点功能（ASF） | |||
| 自动灯丝饱和度调整（AFS） | |||
| 自动光束对准（ABA） | |||
| 自动启动（HV-ON→ABCC→AFC） | |||
| 操作辅助功能 | 光机旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入（点对点测量、角度测量、文本）、预设放大、样品台位置导航功能（SEM MAP）、光束标记功能 | ||
| 配件 | ■硬件:轨迹球、操纵杆、操作面板、压缩机、高灵敏度操作低空探测器（UVD）、红外CCD探测器、摄像机导航系统■软件:SEM数据管理器外部通讯接口、3D捕获、装置台移动限制解除功能、EDS集成 | ||
| 配件（外部装置） | 能量散射X射线分析仪（EDS）、波长色散X射线分析仪（WDS）、 各种外部功能台（加热台、冷却台、牵引台） | ||
* 1.指正放大倍率为127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的显示尺寸。
* 2.放大倍率为509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的显示尺寸。
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